[实用新型]一种清洗机IPA清洗干燥工艺与纯水清洗干燥工艺互换机构

权利要求书

1.一种清洗机IPA清洗干燥工艺与纯水清洗干燥工艺互换机构，其特征在于，包括：

纯水清洗及IPA清洗干燥机构(100)，其包括：隔离加热腔(1)、底部部分置于所述隔离加热腔(1)内的缸体、可放置待清洗工件并将待清洗工件伸入及伸出所述缸体的慢拉机构、预热纯水箱(3)，所述缸体内部自底部起往上依次包括IPA蒸干/纯水慢拉内腔(2)和至少一个冷却区，所述缸体内部在冷却区所对应的区域设置有在启用IPA干燥工艺时启动的冷却系统，所述缸体上还设置有将所述IPA蒸干/纯水慢拉内腔(2)内的液体排出的排液阀(7)，所述预热纯水箱(3)与所述IPA蒸干/纯水慢拉内腔(2)通过设置有第一气动阀(5)的管道连通；

纯水干燥机构(200)，位于所述纯水清洗及IPA清洗干燥机构(100)的下游，用于在启用纯水慢拉干燥工艺时启动干燥功能。

2.根据权利要求1所述的清洗机IPA清洗干燥工艺与纯水清洗干燥工艺互换机构，其特征在于，所述纯水干燥机构(200)包括用于隧道炉内腔体(16)、热风干燥风机(8)、热风加热管(9)、位于热风干燥风机(8)下方的与隧道炉内腔体(16)连通的热风过滤器(10)。

3.根据权利要求1所述的清洗机IPA清洗干燥工艺与纯水清洗干燥工艺互换机构，其特征在于，所述预热纯水箱(3)还连接有一根设置了第二气动阀(4)的用于将超纯水引入所述预热纯水箱(3)的管道。

4.根据权利要求1所述的清洗机IPA清洗干燥工艺与纯水清洗干燥工艺互换机构，其特征在于，所述IPA蒸干/纯水慢拉内腔(2)还连接有设置了第三气动阀(6)的在启用纯水慢拉干燥工艺时用于溢流的管道。

5.根据权利要求1所述的清洗机IPA清洗干燥工艺与纯水清洗干燥工艺互换机构，其特征在于，所述隔离加热腔(1)连接有一根设置有第四气动阀(17)且端部设置有第一漏斗(11)的用于导入煤油的管道。

6.根据权利要求5所述的清洗机IPA清洗干燥工艺与纯水清洗干燥工艺互换机构，其特征在于，所述隔离加热腔(1)还连接有一根设置有第五气动阀(13)的用于排出煤油的管道。

7.根据权利要求1所述的清洗机IPA清洗干燥工艺与纯水清洗干燥工艺互换机构，其特征在于，所述IPA蒸干/纯水慢拉内腔(2)还连接有一根设置有第六气动阀(18)且端部设置有第二漏斗(12)的用于导入IPA的管道。

8.根据权利要求1所述的清洗机IPA清洗干燥工艺与纯水清洗干燥工艺互换机构，其特征在于，所述慢拉机构包括慢拉提升电机(14)以及位于所述缸体上方的慢拉丝杆(15)。

9.根据权利要求1所述的清洗机IPA清洗干燥工艺与纯水清洗干燥工艺互换机构，其特征在于，所述预热纯水箱(3)还连接有溢流管道(30)。