[实用新型]一种锚形微细电火花金属电极结构有效
| 申请号： | 201720683125.8 | 申请日： | 2017-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN207642443U | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 吴烨娴;夏雁鸣;马盛林;陈兢 | 申请（专利权）人： | 苏州含光微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B23H1/04 | 分类号： | B23H1/04 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 邱晓锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微细电火花 侧壁 锚形 金属电极结构 本实用新型 电极结构 等离子 加工面 深刻蚀 电火花 电压击穿 放电间隙 工件距离 大平面 损耗率 碳化钨 电极 锚爪 蚀除 凸起 向内 加工 收缩 | ||
【权利要求书】：
1.一种锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，包括侧壁和加工面，所述侧壁具有内凹的表面，所述加工面为平面，所述侧壁与所述加工面使电极的形状为锚形。
2.如权利要求1所述的锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，所述侧壁的内凹的表面为弧形表面或非弧形表面。
3.如权利要求1所述的锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，所述侧壁的表面全部是内凹的，或者局部是内凹的。
4.如权利要求1所述的锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，所述电极的材料为电极损耗率低且能够进行等离子深刻蚀的材料。
5.如权利要求4所述的锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，所述电极的材料为钨、碳化钨或钛。
6.如权利要求1所述的锚形微细电火花金属电极结构，其特征在于，其是单电极结构或者多电极阵列结构。
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