[实用新型]单波长光电信号转换装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆刻蚀领域，尤其涉及单波长光电信号转换装置。

背景技术

在半导体晶圆制造领域，尤其在晶圆的刻蚀、镀膜工艺阶段，需要准确探测反应腔体内刻蚀、镀膜进程，所以需要准确探测腔体反应物波长。如何有效的将探测的光信号转换为电信号尤为关键。准确且及时有效的将腔体内反应信号转换为电信号的装置，称为光电信号转换装置。

本实用新型设计一款单波长光电信号转换装置，巧妙的完成晶圆刻蚀、镀膜工艺阶段光电信号转换部分的设计。

发明内容

本实用新型的目的是设计一款单波长光电信号转换装置，巧妙的完成晶圆刻蚀、镀膜工艺阶段光电信号转换。

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：单波长光电信号转换装置，包括通光柱体、透镜固定座、滤光片固定座、光电倍增管固定块和光电倍增管。所述的透镜固定座安装在通光柱体中；所述的滤光片固定座与通光柱体连接；所述的通光柱体与光电倍增管固定块固定；所述的光电倍增管固定块与通光柱体、光电倍增管连接；所述的光电倍增管与光电倍增管固定块相连，实现光信号向电信号的转换。

所述的透镜固定座一面边缘有圆形凹槽，用于固定凸透镜。

所述的滤光片固定座上有凹槽用于放置单波长滤光片，有螺牙用于与通光柱体固定。

所述的通光柱体一端有光纤固定接口，另一端内部有圆柱形内槽，是透镜固定座安装位置；通光柱体内部还有C形卡簧槽和螺牙，螺牙位置是滤光片固定座安装位置。

所述的光电倍增管固定块一端内部是圆柱形内槽，是通光柱体安装位置；所述的光电倍增管固定块另一端内部是圆柱形内槽，是光电倍增管安装位置，光电倍增管固定块两端圆柱形内槽连接处有一个圆形孔贯穿，是透光孔洞。

本实用新型的使用方法和有益效果是：

使用方法：首先，用透镜固定座将凸透镜安装在通光柱体中，用C形卡簧固定透镜固定座；其次，将所需的单波长滤光片放置在滤光片固定座上，再将滤光片固定座安装在通光柱体中；再次，将上述组装好的组件安装在光电倍增管固定块圆柱形内槽中；最后，将光电倍增管安装在光电倍增管固定块另一端圆柱形内槽中。

本实用新型有益效果是：设计一款单波长光电信号转换装置，巧妙的完成晶圆刻蚀、镀膜工艺阶段光电信号转换。

附图说明

图1为单波长光电信号转换装置整体结构示意图；

图2为单波长光电信号转换装置中透镜固定座示意图；

图3为单波长光电信号转换装置中通光柱体剖视图；

图4为单波长光电信号转换装置中光电倍增管固定块剖视图；

1. 通光柱体；2. 透镜固定座；3. 滤光片固定座；4. 光电倍增管固定块；5. 光电倍增管。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

本实用新型较佳实施例为：参见附图1、附图2、附图3和附图4。本实例为单波长光电信号转换装置，包括通光柱体1、透镜固定座2、滤光片固定座3、光电倍增管固定块4和光电倍增管5。所述的透镜固定座2安装在通光柱体1中；所述的滤光片固定座3与通光柱体1连接；所述的通光柱体1与光电倍增管固定块4固定；所述的光电倍增管固定块4与通光柱体1、光电倍增管5连接；所述的光电倍增管5与光电倍增管固定块4相连，实现光信号向电信号的转换。所述的透镜固定座2一面边缘有圆形凹槽，用于固定凸透镜。所述的滤光片固定座3上有凹槽用于放置单波长滤光片，有螺牙用于与通光柱体1固定。所述的通光柱体1一端有光纤固定接口，另一端内部有圆柱形内槽，是透镜固定座2安装位置；通光柱体1内部还有C形卡簧槽和螺牙，螺牙位置是滤光片固定座3安装位置。所述的光电倍增管固定块4一端内部是圆柱形内槽，是通光柱体1安装位置；所述的光电倍增管固定块4另一端内部是圆柱形内槽，是光电倍增管5安装位置，光电倍增管固定块4两端圆柱形内槽连接处有一个圆形孔贯穿，是透光孔洞。

装配时，先用透镜固定座2将凸透镜安装在通光柱体1中，用C形卡簧固定透镜固定座2；其次，将所需的单波长滤光片放置在滤光片固定座3上，再将滤光片固定座3安装在通光柱体1中；再次，将上述组装好的组件安装在光电倍增管固定块4圆柱形内槽中；最后，将光电倍增管5安装在光电倍增管固定块4另一端圆柱形内槽中。

以上所述实例只为本实用新型之较佳实例，并非以此限制本实用新型的实施范围。故任何在上述实施方式的精神和原则内所做的修改、等同替换和改进等，均应包含在该实用新型的保护范围内。