[实用新型]一种片状结构的ADS有窗散裂靶有效

专利信息
申请号: 201720664529.2 申请日: 2017-06-08
公开(公告)号: CN206833932U 公开(公告)日: 2018-01-02
发明(设计)人: 盛选禹;王亮君;徐雅晨;郭豹;邵荣;张志擎;孔文文;孙嘉琦;成昱旻;凌晨;艾雪松;张国睿 申请(专利权)人: 清华大学天津高端装备研究院
主分类号: G21C1/30 分类号: G21C1/30;G21C15/14;G21G4/02
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211 代理人: 杨慧玲
地址: 300300*** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 片状 结构 ads 有窗散裂靶
【权利要求书】:

1.一种片状结构的ADS有窗散裂靶,其特征在于:包括质子通道管(1)和靶件套管,质子通道管(1)的质子出口端(101)伸入靶件套管内部,质子通道管(1)下方的靶件套管内部固接有若干靶片(4),靶片(4)层叠设置,靶件套管上设置有用于冷却靶片(4)的冷却系统。

2.根据权利要求1所述的片状结构的ADS有窗散裂靶,其特征在于:所述冷却系统为气体冷却系统,所述靶片(4)从上到下间隔设置,靶片(4)上设置有若干通孔(401),相邻靶片(4)的通孔(401)交错设置。

3.根据权利要求1所述的片状结构的ADS有窗散裂靶,其特征在于:所述质子出口端(101)设置有靶窗(5),靶窗(5)为内凹的半球形结构。

4.根据权利要求1所述的片状结构的ADS有窗散裂靶,其特征在于:所述靶件套管包括靶件外套管(3)和靶件内套管(2),质子通道管(1)伸入靶件内套管(2)内部,靶件内套管(2)位于靶件外套管(3)内部,靶片(4)固接在靶件内套管(2)下部内,靶件内套管(2)的下端固接有靶塞(6),靶塞(6)上设置有用于冷却气体通过的靶塞通孔,靶件外套管(3)的下端固接有靶盖(7);

质子通道管(1)与靶件内套管(2)之间形成气体出气空腔(1-2),靶件内套管(2)与靶件外套管(3)之间形成气体进气空腔(2-3),靶件内套管(2)的上部外侧设置有与出气空腔(1-2)连通的上腔室(201),上腔室(201)的侧部设置有出口法兰管(8),靶件外套管(3)的上部外侧设置有与进气空腔(2-3)连通的下腔室(301),下腔室(301)的侧部设置有进口法兰管(9)。

5.根据权利要求4所述的片状结构的ADS有窗散裂靶,其特征在于:所述靶件内套管(2)与质子通道管(1)同轴心,靶件外套管(3)与靶件内套管(2)同轴心。

6.根据权利要求4所述的片状结构的ADS有窗散裂靶,其特征在于:所述出口法兰管(8)设置在与设置进口法兰管(9)相对的一侧的上腔室(201)的侧部。

7.根据权利要求4所述的片状结构的ADS有窗散裂靶,其特征在于:质子通道管(1)下方的靶件内套管(2)和靶件外套管(3)的管径分别略小于其各自上方的套管的管径,靶件内套管(2)和靶件外套管(3)的变径处均圆滑过渡。

8.根据权利要求1所述的片状结构的ADS有窗散裂靶,其特征在于:位于靶件套管外部的质子通道管(1)外侧固接有上法兰盘(10),靶件套管外部侧壁上固接有下法兰盘。

9.根据权利要求1所述的片状结构的ADS有窗散裂靶,其特征在于:所述靶片(4)的一侧端面上设置有加强筋(402)。

10.根据权利要求9所述的片状结构的ADS有窗散裂靶,其特征在于:所述加强筋(402)有若干条,加强筋(402)平行设置,加强筋(402)的高度为2mm。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学天津高端装备研究院,未经清华大学天津高端装备研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720664529.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top