[实用新型]一种晶圆隔离环有效
| 申请号： | 201720663628.9 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN206969343U | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 邱摩西;刘汝拯;陈松平;何江波 | 申请（专利权）人： | 义柏科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B65D81/05 | 分类号： | B65D81/05;B65D85/62;B65D85/30 |
| 代理公司： | 北京捷诚信通专利事务所(普通合伙)11221 | 代理人： | 王卫东 |
| 地址： | 518115 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 隔离 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆隔离环，包括圆环形的盘体，其特征在于，所述盘体的顶面边缘处设置有环形的支撑台，所述支撑台的顶面上沿周向间隔设置有弧形挡墙，任意两相邻的所述弧形挡墙之间以及对应的所述支撑台上设置有上通气槽；
所述盘体的底面边缘处沿所述盘体的周向间隔设置有若干用于压紧晶圆的弧形压脚，任意两相邻的所述弧形压脚围成缺口，所述缺口在所述盘体的底部形成下通气槽。
2.如权利要求1所述的一种晶圆隔离环，其特征在于，所述弧形挡墙与所述弧形压脚相适配，所述弧形挡墙用于将所述弧形压脚限制在其围成的区域内，防止所述弧形压脚脱出。
3.如权利要求1所述的一种晶圆隔离环，其特征在于，所述盘体呈自外而内向下倾斜的斜坡状。
4.如权利要求1所述的一种晶圆隔离环，其特征在于，所述上通气槽的两侧的所述支撑台和所述弧形挡墙的边缘处设有圆弧倒角。
5.如权利要求1所述的一种晶圆隔离环，其特征在于，所述弧形挡墙的厚度由下至上逐渐减小。
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B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D 用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D81-00 用于存在特殊运输或贮存问题的装入物，或适合于在装入物取出后用于非包装目的的容器、包装元件或包装件
B65D81-02 . 特别适于防止内装物受力损坏
B65D81-18 . 为内装物提供特殊环境，例如高于或低于室温
B65D81-24 . 适于防止内装物变质或腐败；应用食品防腐剂、杀菌剂、杀虫剂或动物防蛀剂的容器或包装材料
B65D81-32 . 用于包装两种或多种不同的物料，这些物料在混合使用前必须保持分开
B65D81-34 . 用于包装打算在包装件内烹调或加热的食物
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