[实用新型]一种超高温蒸发源

权利要求书

1.一种超高温蒸发源，其特征在于：包括加热丝、坩埚、保温炉、降温模块；

所述坩埚置于所述保温炉内部；

所述加热丝包括第一加热段和第二加热段，所述第一加热段与所述第二加热段以双螺旋结构环绕于所述坩埚外；

所述加热丝还包括支撑脚，所述支撑脚穿过所述降温模块向外延伸并接电，所述降温模块用于阻隔所述保温炉内部的热量沿所述支撑脚延伸方向向外部传递。

2.根据权利要求1所述的超高温蒸发源，其特征在于：所述降温模块包括隔热层和冷却室，所述隔热层由两片或两片以上隔热片组成；

所述隔热层设置于所述冷却室与所述坩埚之间，所述冷却室位于所述保温炉底部。

3.根据权利要求2所述的超高温蒸发源，其特征在于：所述冷却室第二端设有排出管和输入管，

所述超高温蒸发源还包括第一法兰，所述排出管与所述输入管均通过第一法兰固定以支撑所述冷却室。

4.根据权利要求3所述的超高温蒸发源，其特征在于：所述第一法兰与所述降温模块之间设置有调节杆。

5.根据权利要求4所述的超高温蒸发源，其特征在于：所述保温炉内设有第一坩埚支撑件和第二坩埚支撑件；

所述坩埚第一端包括环形凸缘，所述第一坩埚支撑件上具有能与所述环形凸缘相契合的环形下凹部；

所述第二坩埚支撑件包括坩埚托及支撑杆，所述坩埚第二端置于所述坩埚托上，所述支撑杆一端与所述坩埚托相连，所述支撑杆另一端插入但不穿透所示隔热层。

6.根据权利要求5所述的超高温蒸发源，其特征在于：所述超高温蒸发源还包括绝缘管，所述绝缘管贯穿所述降温模块，所述支撑脚被插入所述绝缘管内，使之不与所述降温模块接触。

7.根据权利要求1～6中任一所述的超高温蒸发源，其特征在于：所述保温炉上设有进料口，所述加热丝顶部设置有位于所述保温炉进料口下方的限位片，所述限位片用于防止所述加热丝向所述进料口方向滑动。

8.根据权利要求7所述的超高温蒸发源，其特征在于：所述超高温蒸发源还包括热电偶，所述热电偶第一端置于所述加热丝与所述坩埚托之间，所述热电偶第二端穿过所述降温模块向外延伸并接电。

9.根据权利要求8所述的超高温蒸发源，其特征在于：所述加热丝的加热方式为电阻加热。

10.根据权利要求6所述的超高温蒸发源，其特征在于：所述坩埚的材质为钽，所述第一坩埚支撑件材质为钽，所述第二坩埚支撑件材质为钨。