[实用新型]一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构

权利要求书

1.一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构，用于副炉室和隔离阀进行锁紧与松开，其特征在于，所述用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构包括锁紧块、锁紧钩、传递套、气动件、控制元件；

所述气动件的内部从上而下设有两个内腔，即上内腔和下内腔，上内腔和下内腔之间通过活塞间隔，活塞能够通过气压在腔内滑动，且上内腔和下内腔密封隔离，上内腔、下内腔还分别设有气管用于连接气泵；在下内腔一侧的活塞与连接杆的一端固定，连接杆的另一端穿出气动件的底部并安装有下端滑块；气动件的顶部安装有上端滑块；所述气动件外部套有传递套，并通过传递套固定在挂接板法兰上，即气动件能随着挂接板转动而周向运动，进而控制副炉室和隔离阀的锁紧与松开；

所述锁紧块安装在副炉室上，锁紧块上有封闭的弧形槽口，气动件的上端滑块能安装在弧形槽口中并在弧形槽口中滑动；所述锁紧钩安装在隔离阀上，锁紧钩上有一个开口的滑槽，当挂接板处于副炉室和隔离阀分离状态时，气动件下端滑块未滑入锁紧钩的滑槽中，气动件中的活塞处于放松状态；当挂接板处于副炉室和隔离阀连接状态时，气动件的下端滑块能滑到滑槽中，气动件中的活塞处于压缩状态，气动件锁紧副炉室与隔离阀同时运动；

所述控制元件采用压紧传感器，压紧传感器安装在气动件的下内腔中，当气动件的下端滑块滑入锁紧钩的滑槽中，气动件中的活塞处于压缩状态，压紧传感器能通过压紧放松来反馈信号，方便通过外部控制气泵使气动件中的活塞放松或者压缩，进而控制副炉室和隔离阀的松开或者锁紧。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构，其特征在于，当压紧传感器收到信号需要将副炉室和隔离阀锁紧时，气动件内部的下内腔由气泵增加气压，使气动件的下端滑块连接的活塞往上滑动，将副炉室上的锁紧块和隔离阀上的锁紧钩压紧，从而使副炉室和隔离阀进行锁紧，压紧力计算如下：

F＝(1+n)[p₁(S₁-S₂)-p₂S₁]

其中，锁紧机构数量为1+n，n是自然数；p₁为下内腔气泵输出压强，p₂为上内腔气压，S₁为活塞面积，S₂为连接杆截面面积；由于气动件内部活塞和连接杆都是圆柱形的，且活塞的直径为D，连接杆的直径为d，因此S₁＝πD²/4，S₁＝πd²/4。