[实用新型]一种新型铝材真空镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械领域，特别涉及一种新型铝材真空镀膜装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

但是目前的镀膜装置移动不方便，并且工作噪音较大，且有较大的震动感。为此，我们提出一种新型铝材真空镀膜装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种新型铝材真空镀膜装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种新型铝材真空镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室上表面固定安装有储气罐和真空仪器表，所述真空仪器表固定安装在储气罐的一侧，所述镀膜室内部设置有吸音器，且其一侧固定连接有真空泵，所述真空泵内部固定安装有减震器，所述镀膜室另一侧设置有控制门和控制箱，所述控制门和控制箱之间固定安装有总电源旋转纽，且总电源旋转纽上端设置有电极接口，所述控制门上端固定安装有高阀，且高阀外表面固定安装有高阀控制把手，所述控制箱上端设置有低阀，且低阀上表面活动安装有低阀控制把手，所述控制箱上表面固定安装有总电源开关，所述镀膜室下端固定安装有连接杆，所述连接杆下端设置有滚轮，所述滚轮外部设置有轮体，且轮体上端固定安装有连接板，所述连接板一端活动安装有刹片，且其上表面设置有螺栓，所述连接板通过螺栓与连接杆固定连接。

优选的，所述滚轮的数量为两组，且每两个为一组。

优选的，所述镀膜室的材质为不锈钢。

优选的，所述滚轮通过连接杆与镀膜室活动连接。

优选的，所述真空泵采用旋片泵。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：通过设置滚轮，可以非常方便该镀膜装置的移动，因为镀膜装置的体积一般都比较大，移动非常的不方便，通过设置滚轮7可以非常方便操作人员的移动，等移动好后将刹片放下，此时滚轮无法再移动，这样的设置，可以很大程度上节约人力和时间，通过设置吸音器，可以给操作人员营造一个良好的工作环境，因为镀膜机在工作的时候噪音较大，对操作人员的健康有害，通过设置吸音器，可以有效吸收噪音，使该镀膜装置在工作时的分贝很小，有利于操作人员的身体健康，通过设置减震器，可以有效保护真空泵，因为真空泵在工作的时候震动较大，由于真空泵直接接触地面，较大的震动会对地面上的物品有影响，通过设置减震器可以有效的避免这种情况，同时提高了真空泵的使用寿命。通过这些设置可以有效的方便该镀膜装置的移动，节约时间和成本，同时可以提高该镀膜装置的使用寿命，结构新颖，操作简单，具有很好的推广价值。

附图说明

图1为本实用新型新型铝材真空镀膜装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型新型铝材真空镀膜装置的滚轮结构示意图。

图3为本实用新型新型铝材真空镀膜装置的镀膜室一侧示意图。

图中：1、储气罐；2、镀膜室；3、高阀控制把手；4、高阀；5、控制门；6、总电源旋转纽；7、滚轮；8、控制箱；9、总电源开关；10、低阀控制把手；11、低阀；12、真空仪器表；13、吸音器；14、真空泵；15、减震器；16、连接板；17、螺栓；18、轮体；19、刹片；20、电极接口；21、连接杆。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。