[实用新型]一种实用的大功率低温等离子电源

权利要求书

1.一种实用的大功率低温等离子电源，包括依次连接的市电输入电路、三相滤波组件、整流滤波电路、功率变换电路、LC谐振网络以及升压变压器，其特征在于：所述市电输入电路与辅助电源电路相连接并为辅助电路充电，市电输入电路输入的电流依次经过三相滤波组件、整流滤波电路、功率变换电路、LC谐振网络以及升压变压器变换后分别引出高压电极和低压电极，在所述升压变压器的输出端还并联连接有交流高压采样电路和交流电流采样电路，交流高压采样电路和交流电流采样电路将采集到的信号分别输送到报警电路、反馈控制电路以及显示电路，反馈控制电路连接功率调节电路，功率调节电路连接功率驱动电路，功率驱动电路连接到功率变换电路形成等离子电源的输出控制闭环，所述辅助电路为等离子电源提供直流电压。

2.根据权利要求1所述的一种实用的大功率低温等离子电源，其特征在于：所述三相滤波组件由辅助电路提供直流电压，三相滤波组件还包括浪涌抑制及延时启动电路。

3.根据权利要求1所述的一种实用的大功率低温等离子电源，其特征在于：所述升压变压器为中高频升压变压器，所述升压变压器的输出端还连接有温度采集电路，温度采集电路采集的温度信号输送到报警电路，所述温度采集电路由辅助电路提供直流电压。

4.根据权利要求1所述的一种实用的大功率低温等离子电源，其特征在于：所述显示电路包括电压显示电路、电流显示电路和频率显示电路。

5.根据权利要求3所述的一种实用的大功率低温等离子电源，其特征在于：所述报警电路为过压过流超温报警电路。

6.根据权利要求3所述的一种实用的大功率低温等离子电源，其特征在于：所述整流滤波电路由三相整流桥BR1以及电容C1、电容C2、电容C3、电容C4、电容C5、电容C6、电容C7、电容C8、电阻R1、电阻R2、电阻R3、电阻R4、电阻R5、电阻R6、电阻R7、电阻R8组成，电容C1和电阻R1并联后与电容C2和电阻R2组成的并联电路串联，电容C2和电阻R2组成的并联电路与电容C3和电阻R3组成的并联电路串联，电容C3和电阻R3组成的并联电路与电容C4和电阻R4组成的并联电路串联，电容C5和电阻R5并联后与电容C6和电阻R6组成的并联电路串联，电容C6和电阻R6组成的并联电路与电容C7和电阻R7组成的并联电路串联，电容C7和电阻R7组成的并联电路与电容C8和电阻R8组成的并联电路串联。