[实用新型]一种腔内倍频紫外激光器有效
申请号: | 201720643857.4 | 申请日: | 2017-06-05 |
公开(公告)号: | CN207038918U | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 崔建丰;张亚男;高涛 | 申请(专利权)人: | 鞍山紫玉激光科技有限公司 |
主分类号: | H01S3/109 | 分类号: | H01S3/109;H01S3/091;H01S3/16;H01S3/08 |
代理公司: | 鞍山嘉讯科技专利事务所21224 | 代理人: | 张群 |
地址: | 114000 辽宁省鞍山*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 倍频 紫外 激光器 | ||
技术领域
本实用新型涉及激光器技术领域,尤其涉及一种腔内倍频紫外激光器。
背景技术
紫外激光器因其波长短,光斑小,峰值功率高等优点被广泛应用于工业,医疗,军事,航空航天,科学研究等领域。由于激光晶体和变频晶体都具有一定的损伤阈值,特别是腔内倍频的变频晶体有着易被紫外光破坏的特点,在使用过程中激光晶体很容易损坏,所以在紫外激光器设计和生产中常采用带有布儒斯特角切割的和频晶体倍频及出光的方式来降低紫外激光对膜层损伤,这种方法有效地起到了保护作用。但是在激光器调试中和频晶体必须严格按照布儒斯特角放置,基频光在通过和频晶体布儒斯特面折射后在晶体内部必须严格平行于晶体中心轴传输,这对和频晶体的调试有精确地要求,使光路调试十分困难,不利于工业化生产。
发明内容
本实用新型提供了一种腔内倍频紫外激光器。降低了腔内倍频紫外激光器光路调试难度,减少了激光器的生产周期。
为了达到上述目的,本实用新型采用以下技术方案实现:
一种腔内倍频紫外激光器,包括沿光路依次设置的光纤耦合系统、前腔镜、激光晶体、声光Q系统、45°镜一、45°镜二、紫外石英晶体、和频晶体、倍频晶体、后腔镜;所述紫外石英晶体一端切割成布鲁斯特切面并镀1064nm高透532nm高反355nm高反膜,另一端切割成5.96°斜角并镀1064nm高透膜,所述和频晶体一端切割成布鲁斯特切面,不镀膜且侧面剖光,所述紫外石英晶体与和频晶体布鲁斯特切面平行,两斜面留有能让532nm与355nm激光射出的距离;所述光纤耦合系统由泵浦源、传输光纤以及聚焦耦合系统组成。
所述泵浦源的泵浦方式为端面泵浦或侧面泵浦。
所述激光器的腔型为直腔、U型腔、V型腔、L型腔、Z型腔、环型腔。
所述前腔镜、后腔镜为平透镜、凹透镜或凸透镜。
所述激光晶体为Nd:YAG晶体、Nd:YVO4晶体、Nd:GGG晶体、Nd:YLF晶体、Nd:GdVO4晶体、Nd:YAP晶体、Nd:LuvO4晶体或Yb:YAG晶体。
所述泵浦源为中心波长为808nm、880nm、914nm、938nm、940nm或946nm的泵浦源。
所述紫外石英晶体材质优选石英材质或K9材质。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型降低了紫外激光器光路调试难度,减少了激光器的生产周期,有利于激光器的批量生产,降低了生产成本,增加了企业的经济效益
附图说明
图1是本实用新型结构示意图;
图2是本实用新型紫外石英晶体与和频晶体结构示意图。
图中:1-光纤耦合系统 2-前腔镜 3-激光晶体 4-声光调Q装置 5-45°镜一 6-45°镜二 7-紫外石英晶体 8-和频晶体 9-倍频晶体 10-后腔镜 11-紫外石英晶体布鲁斯特切面 12-和频晶体布鲁斯特切面 13-紫外石英晶体切割角度
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明:
实施例1:
如图1-2所示,一种腔内倍频紫外激光器,包括沿光路依次设置的光纤耦合系统1、前腔镜2、激光晶体3、声光调Q装置4、45°镜一5、45°镜二6、紫外石英晶体7、和频晶体8、倍频晶体9、后腔镜10。光纤耦合系统1由泵浦源、传输光纤以及聚焦耦合系统组成。泵浦源的泵浦方式为端面泵浦,激光器的腔型为U型腔,前腔镜2、后腔镜10为平透镜,激光晶体为Nd:YVO4晶体,泵浦源为中心波长为808nm的泵浦源。紫外石英晶体7材质优选石英材质。
紫外石英晶体7一端切割成布鲁斯特切面,紫外石英晶体布鲁斯特切面11镀1064nm高透532nm高反355nm高反膜,另一端切割成5.96°斜角并镀1064nm高透膜,紫外石英晶体7切割角度13θ=5.96°。选取与紫外石英晶体7折射率相同的和频晶体8,并且和频晶体8与紫外石英晶体7形状相似度为90%~100%。和频晶体8尺寸为4mm×4mm×20mm,将和频晶体8一端切割成布鲁斯特切面,和频晶体布鲁斯特切面12不镀膜且侧面剖光。将加工后的紫外石英晶体7与和频晶体8前后依次放置于光路中,紫外石英晶体7与和频晶体8布鲁斯特切面平行,两斜面的距离为<37mm。在和频晶体8前面放置紫外石英晶体7后,基本光在光路中只存在侧移,不存在角度偏折,进而降低紫外光路调试难度。
实施例2:
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