[实用新型]一种自带清洁和散热装置的曝光机有效

专利信息
申请号: 201720624894.0 申请日: 2017-06-01
公开(公告)号: CN207051664U 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 邓君 申请(专利权)人: 东莞市龙欣精密网版科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 长沙智德知识产权代理事务所(普通合伙)43207 代理人: 陈铭浩
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 清洁 散热 装置 曝光
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及曝光机技术领域,尤其涉及一种自带清洁和散热装置的曝光机。

背景技术

曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备,印制电路板制造工艺中,将底片图像转移到基板上是关键步骤之一,先在基板上涂覆一层感光材料,然后对涂覆在基板上的感光材料进行光辐射,使其溶解性发生变化,未感光的树脂没有聚合,在显影液作用下溶解,感光部分的感光材料发生聚合反应固化在基板上形成图像。

曝光机的工作原理决定了曝光机需要非常清洁的工作环境,当玻璃板上有落尘时就会在显影后的图像上形成斑点,直接影响到曝光的质量,另一方面,部分电路板曝光时需要用到强光源,强光源会产生大量的热量,现有的曝光机散热效果比较差,易造成曝光机内高温高压,存在安全隐患,所以一般选择只能放置在温度较低的暗室中,对环境要求苛刻。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种自带清洁和散热装置的曝光机,通过在盖体装置上加装吹风块,可实现在对下一片物料曝光前进行对玻璃板的吹扫,防止落尘,放料时关闭吹风,盖上盖体装置后再开启,同步开启上层散热风扇和下层散热风扇,实现曝光过程中箱体内的空气对流,进一步实现箱体内的散热散压。

为了实现以上目的,本实用新型采用的技术方案为:一种自带清洁和散热装置的曝光机,它包括机箱(1)和固定在机箱(1)上的操作台(6),所述的机箱(1)上端对称设置有两个轴承座(102),所述的轴承座(102)内安装有翻转轴承(101),所述的翻转轴承(101)活动连接盖体装置(3),所述的盖体装置(3)两侧活动连接液压杆(4),所述的液压杆(4)另一端活动连接到机箱(1)的两侧,所述的盖体装置(3)包括与翻转轴承(101)配合的翻转轴(301),所述的翻转轴(301)固定连接盖板(303),所述的盖板(303)两侧对称设置有吹风块(306),前端固定安装有拉手(304),所述的吹风块(306)外侧配合安装有气管接头(302),所述的气管接头(302)连接到气动组件,所述的气动组件连接到操作台(6)。

进一步的,所述的机箱(1)四周开设有若干个方形孔,所述的方形孔内安装有上层散热风扇(8)和下层散热风扇(2),其中,上层散热风扇(8)对称设置在机箱(1)的前后方,下层散热风扇(2)对称设置在机箱(1)的左右两侧,所述的机箱(1)左右两侧上端还开设有弧形的避空槽(103),所述的避空槽(103)与盖体装置(3)配合,所述机箱(1)内部下端固定安装有反光灯罩(7),所述的反光灯罩(7)中间安装有曝光光源(10),上端两侧对称设置有照明灯管(9),所述的曝光光源(10)连接到操作台(6)。

进一步的,所述的吹风块(306)内部中间开设有第一通气孔(3061),侧边开设有若干均匀排列的第二通气孔(3062),所述的第二通气孔进气端连接到第一通气孔(3061),所述的第一通气孔(3061)进气端连接气管接头(302)。

进一步的,所述的盖体装置(3)与机箱(1)盖合时,吹风块(306)的第二通气孔(3062)与机箱(1)的避空槽(103)配合。

本实用新型的有益效果为:

1、通过在盖体装置上加装吹风块,可实现在对下一片物料曝光前进行对玻璃板的吹扫,防止落尘,放料时关闭吹风,盖上盖体装置后再开启,同步开启上层散热风扇和下层散热风扇,实现曝光过程中箱体内的空气对流,进一步实现箱体内的散热散压。

2、通过在机箱四周安装若干个上层散热风扇和下层散热风扇,且上层散热风扇与下层散热风扇安装在不同高度,实现箱体内各层空气的良好对流。

3、吹风块上第一通气孔连接若干个均匀排列的第二通气孔,且第二通气孔与盖板呈45度角,实现在盖体装置与机箱未盖合前对玻璃板的吹扫。

4、盖体装置与机箱盖合时,吹风块的第二通气孔与机箱的避空槽配合,实现在盖上时吹风块将风吹至箱体内。

附图说明

图1为一种自带清洁和散热装置的曝光机的结构示意图。

图2为盖体装置的结构示意图。

图3为盖体装置的局部剖视图。

图4为机箱内部的结构示意图。

图5为盖体装置盖下时的整机剖视图。

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