[实用新型]自聚焦透镜透射波前测量装置有效

申请号：	201720614776.1	申请日：	2017-05-27
公开（公告）号：	CN207456742U	公开（公告）日：	2018-06-05
发明（设计）人：	崔京杰	申请（专利权）人：	崔京杰
主分类号：	G01M11/02	分类号：	G01M11/02
代理公司：	西安佩腾特知识产权代理事务所(普通合伙) 61226	代理人：	姚敏杰
地址：	710065 陕西***	国省代码：	陕西;61
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摘要：
搜索关键词：	显微物镜自聚焦透镜哈特曼波前传感器透射波测量装置本实用新型控制计算机定位基准汇聚镜准直镜靶板光阑光源受外界环境光学领域依次设置出射光测量测试保证
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【权利要求书】：

1.一种自聚焦透镜透射波前测量装置，其特征在于：所述自聚焦透镜透射波前测量装置包括光源(1)、汇聚镜(2)、靶板(3)、准直镜(4)、光阑(5)、第一显微物镜(6)、第二显微物镜(8)、定位基准结构(9)、夏克-哈特曼波前传感器(10)以及控制计算机(11)；所述汇聚镜(2)、靶板(3)、准直镜(4)、光阑(5)、第一显微物镜(6)、第二显微物镜(8)、定位基准结构(9)以及夏克-哈特曼波前传感器(10)依次设置在光源(1)的出射光路上；所述夏克-哈特曼波前传感器(10)与控制计算机(11)相连；待测自聚焦透镜(7)置于第一显微物镜(6)与第二显微物镜(8)之间。

2.根据权利要求1所述的自聚焦透镜透射波前测量装置，其特征在于：所述靶板(3)置于准直镜(4)的焦点位置；所述靶板(3)上设置有透光孔；所述透光孔的直径满足如下关系：

d＝2.44λf/D

其中：

λ为光源(1)的中心波长；

f为准直镜(4)的焦距；

D为准直镜(4)的通光口径；

d是靶板(3)上透光孔的直径。

3.根据权利要求2所述的自聚焦透镜透射波前测量装置，其特征在于：所述第一显微物镜(6)与第二显微物镜(8)的数值孔径均大于待测自聚焦透镜(7)的数值孔径。

4.根据权利要求1或2或3所述的自聚焦透镜透射波前测量装置，其特征在于：所述定位基准结构(9)置于夏克-哈特曼波前传感器(10)的前端。

5.根据权利要求4所述的自聚焦透镜透射波前测量装置，其特征在于：所述定位基准结构(9)是金属板，所述金属板上设置有锥形透光孔；所述锥形透光孔的中心与夏克-哈特曼波前传感器(10)的靶面中心重合。

6.根据权利要求5所述的自聚焦透镜透射波前测量装置，其特征在于：所述准直镜(4)是消色差准直镜。

7.根据权利要求6所述的自聚焦透镜透射波前测量装置，其特征在于：所述光阑(5)是消杂光光阑。