[实用新型]电极板辅助安装装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及辅助安装治具技术领域，尤其涉及一种电极板辅助安装装置。

背景技术

离子注入机属于高精度设备，注入机的电极板又与拉出波束的质量有很大关系，所以电极板定期更换属于离子注入机保养及维护的一个重要项目。

目前离子注入机的离子源部分三个月保养一次，电极板随之更换，一次更换的数量为四块电极板，电极板安装时要求的精度高(允许误差在正负0.1mm)，对位比较困难，并且四块电极板之间间隙与对位要求非常高，极小的偏差就会对波束的均一性造成影响。

现电极板安装，基本依靠人力和操作人员的经验，很难达到精准对位，需要花费大量的人力和时间，容易出错，还会造成电极板表面损伤，缩短电极板使用寿命；另外，在更换电极板时，长时间安装会导致整个产线停滞，降低设备的正常运行时间，对工艺性能有很大影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电极板辅助安装装置，能够缩短电极板的安装且能够对电极板进行精确安装。

本实用新型实施例提供一种电极板辅助安装装置，包括基板、、电机、微调电机及安装在所述基板上的夹具，所述微调电机用于控制所述夹具的移动，其中，所述电机包括用于控制所述夹具张合的第一电机。

进一步地，所述微调电机包括用于控制所述夹具在竖直方向上上下移动的第一微调电机。

进一步地，所述微调电机还包括用于控制所述夹具在水平方向上左右移动的第二微调电机。

进一步地，所述微调电机还包括用于控制所述夹具在水平方向上前后移动的第三微调电机。

进一步地，所述电机、所述第一、第二和第三微调电机及所述夹具均安装在所述基板的同一面上。

进一步地，还包括安装在所述基板端部的伸缩支架，所述伸缩支架用于在竖直方向上支撑所述基板，所述电机还包括用于控制所述伸缩支架伸缩的第二电机。

进一步地，所述电机还包括用于控制所述基板立与卧的第三电机。

进一步地，所述基板的另一个面上还安装有滚轮，所述电机还包括用于控制滚轮转动的第四电机。

进一步地，所述电极板辅助安装装置还包括控制手柄，所述控制手柄上设有用于控制所述电机与所述微调电机作动的控制键。

进一步地，每个夹具上设有用于感测所述夹具与电极板安装腔之间距离的传感器，所述控制手柄上还设有用于显示所述传感器感测数据的显示屏。

本实用新型的电极板辅助安装装置通过在基板上设置第一电机、夹具、微调电机，第一电机控制夹具张合以便于夹具夹取电极板，微调电机控制夹具移动以对夹具的位置做出微调，从而实现对电极板位置的精确调整，进而实现电极板的精确安装，同时，本实用新型的电极板辅助安装装置无需人力安装电极板，只需人力通过控制手柄控制即可，节省人力同时节约时间。

附图说明

图1是本实用新型的电极板辅助安装装置的正视图。

图2是本实用新型的电极板辅助安装装置的侧视图。

图3是本实用新型的电极板辅助安装装置的的俯视图。

图4是本实用新型的电极板辅助安装装置的控制手柄的正视图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术方式及功效，以下结合附图及实施例，对本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

请结合参阅图1-3，本实用新型实施例提供一种电极板辅助安装装置，包括基板1、、电机、用于控制夹具2移动的微调电机及安装在基板1上的夹具2。其中，电机包括用于控制夹具2张合的第一电机M1。

具体地，在本实施例中，微调电机包括用于控制夹具2在竖直方向上上下移动的第一微调电机M2，以控制夹具2在竖直方向的位置微调。

在本实施例中，微调电机还包括用于控制夹具2在水平方向上左右移动的第二微调电机M3，以控制夹具2在水平方向上左右位置的微调。

在本实施例中，微调电机还包括用于控制夹具2在水平方向上前后移动的第三微调电机M4，以控制夹具2在水平方向上前后位置的微调。

在本实施例中，本实用新型的电极板辅助安装装置还包括安装在基板1的端部(具体例如安装在基板1的侧端)的伸缩支架3，伸缩支架3用于在竖直方向上支撑基板1，电机还包括用于控制伸缩支架3伸缩的第二电机M5，以调整基板1根据电极板安装腔的高度，调整基板1在竖直方向上的高度。