[实用新型]真空现场校准装置有效
| 申请号： | 201720604857.3 | 申请日： | 2017-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN206740311U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 张强;彭刚;何亚洲;郑胜清;栾海峰;张银鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏省计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 210046*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 现场 校准 装置 | ||
【权利要求书】：
1.真空现场校准装置，其特征在于：包括球形校准室、高真空主抽阀、预抽阀、前级阀、分子泵、前级机械泵和微调阀, 球形校准室设置有标准真空规接口、被检真空规接口、微调阀和抽真空排气出口，抽真空排气出口通过管路分别与高真空主抽阀和预抽阀相连，真空主抽阀连接分子泵，预抽阀连接前级机械泵，分子泵和前级机械泵之间通过前级阀连通。
2.根据权利要求1所述的真空现场校准装置，其特征在于：球形校准室采用分体结构，通过CF63刀口法兰螺栓连接。
3.根据权利要求1所述的真空现场校准装置，其特征在于：微调阀直接与大气连通。
4.根据权利要求1所述的真空现场校准装置，其特征在于：高真空主抽阀采用的是CF35超高真空角阀。
5.根据权利要求1所述的真空现场校准装置，其特征在于：球形校准室的赤道位置设置有标准真空规接口、被检真空规接口和微调阀，球形校准室的下端设置有抽真空排气出口，抽真空排气出口通过管路与高真空主抽阀和预抽阀相连的一端连接，高真空主抽阀的另一端连接分子泵，预抽阀的另一端分别连接前级阀的一端和前级机械泵，前级阀的另一端和分子泵相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏省计量科学研究院，未经江苏省计量科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720604857.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
