[实用新型]光束变换装置及激光加工装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学技术领域，尤其是涉及一种光束变换装置及激光加工装置。

背景技术

在微电子学、生物医学、信息产业领域，人们越来越多地使用各种光束，尤其是激光束作为刻刀，来解决微芯片制造、光盘存储器、微型编码器的制作、激光标记标刻等有关精细加工问题。

目前在相关工厂的生产线上广泛使用TEMoo单模激光束进行激光加工，但是，这种激光束遵循高斯分布特性，激光束的中心强度高而边缘强度弱，会使得激光加工时被刻划的线条、文字、图案等的轮廓不清、边缘模糊，因而无法满足超精微加工的要求。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种光束变换装置及激光加工装置，以缓解现有技术中存在的激光加工时被刻划的线条、文字、图案等的轮廓不清、边缘模糊，无法满足超精微加工的要求的技术问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种光束变换装置，包括反射镜、第一锥形镜和第二锥形镜；

所述反射镜上开设有供光束进入的第一开口；

所述第一锥形镜为凸反射锥镜，所述第二锥形镜为凹反射锥镜；

所述第一锥形镜位于所述第二锥形镜所在区域内，且所述第一锥形镜的顶点和所述第二锥形镜的顶点连线过所述第一开口的中心，所述反射镜与所述连线所成的角度为非90°；

所述反射镜和所述第二锥形镜之间还设置有供光束射出的第二开口；

经由所述第一开口进入所述光束变换装置内的光束，先后经过所述第一锥形镜、所述第二锥形镜和所述反射镜后，经由所述第二开口射出。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，所述第一锥形镜和所述第二锥形镜之间的距离可调。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，所述光束变换装置还包括导轨，所述第一锥形镜与所述导轨滑动连接，以使所述第一锥形镜和所述第二锥形镜之间的距离可调。

结合第一方面的第一种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，所述光束变换装置还包括传动装置，所述传动装置用于带动所述第一锥形镜移动，以使所述第一锥形镜和所述第二锥形镜之间的距离可调。

结合第一方面的第三种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，所述传动装置包括固定座、电机、曲柄连杆机构、镜座和导轨；

所述电机与所述导轨固定在所述固定座上，所述镜座滑动连接在所述导轨上，所述镜座用于安装所述第一锥形镜；所述电机通过所述曲柄连杆机构与所述镜座连接，带动所述镜座在所述导轨上滑动。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第五种可能的实施方式，其中，所述光束变换装置还包括外壳，所述外壳的内部设置有插槽，所述插槽用于插接所述反射镜、所述第一锥形镜和所述第二锥形镜。

结合第一方面的第五种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，所述插槽的数量为多个，且多个所述插槽沿入射光轴方向设置，所述第一锥形镜和所述第二锥形镜可选择的插接在所述插槽内，以使所述第一锥形镜和所述第二锥形镜之间的距离可调。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第七种可能的实施方式，其中，所述光束变换装置还包括准直组件，所述准直组件设置于所述反射镜远离所述第一锥形镜的一侧，所述准直组件用于将入射光束变换为平行光束。

结合上述第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第八种可能的实施方式，其中，所述第一锥形镜的过所述第一锥形镜的顶点的对称轴和所述第二锥形镜的过所述第二锥形镜的顶点的对称轴均与所述连线重合；

所述第一锥形镜和所述第二锥形镜的面形均为圆锥形，且所述第一锥形镜和所述第二锥形镜的锥尖角度均为90°；

所述反射镜与所述连线所成的角度为45°。

第二方面，本实用新型实施例还提供一种激光加工装置，包括激光发生器、聚焦组件，以及如第一方面所述的光束变换装置；

所述光束变换装置设置于所述激光发生器和所述聚焦组件之间，所述激光发生器靠近所述反射镜一侧。

本实用新型实施例带来了以下有益效果：