[实用新型]冷却装置的磁力泵结构

说明书

技术领域

本实用新型与一种冷却装置有关，特别是指一种冷却装置的磁力泵结构。

背景技术

按，具有空调的大楼、半导体厂房、冷藏库等，都必须透过冷却系统，以对内部进行致冷，尤其半导体工业的集成电路生产制程中，不论是薄膜沉积、蚀刻或热处理等制程，为求制造产品良率稳定，均须将温度维持在一特定范围内。

目前业界提供冷却的装置多采用冰水机，现有冰水机结构主要是由蒸发器、水箱及泵浦等组件所构成，并由管路依序相互串连而形成一冷却循环系统。

当水箱将冷水经管路供给泵浦，泵浦经管路将冷水输送至欲冷却物体，以使冷水与欲冷却物体进行热交换，而将欲冷却物体的热能带走，此时，管路内的冷水因吸收欲冷却物体的热能而变成热水，继之，所述热水经管路输送至蒸发器，以由蒸发器与冰水机内部的冷源进行热交换，将管路内的热水的热能带走后，管路内的水成为冷水，而再流回水箱中，依此，往复循环冷却便可达到使半导体厂房等环境温度维持在所需范围效果。

然而，上述冰水机往往使用直立式泵，其主要的构件由马达座、管体、叶轮与前盖组成，而泵于运转时是将液体向上抽，由一侧的出口送出，但于停止运转时会产生负压将液体灌回管体中，且会快速的往上溢出，而泵排泄溢流的能力不足，往往造成泵的损伤。

另外，直立式泵因长久使用，泵内的冷却液容易从叶轮的轴承之间泄漏，而冷却液(例如，氟氯烃(CFC)、氢氟氯烃(HCFC)或氢氟烃(HFC))于泄漏后，还会蒸发使空气中布有氟离子，而氟离子还有可能与空中的水分子(H₂O)反应，从而生成氢氟酸(HF)，所述氢氟酸(HF)还有可能侵蚀于半导体制程中的芯片。

再者，由于上述直立式泵轴封处易产生泄露，因而造成生产过程中的损失；若冷却液为具剧毒性化学物质，则对环境、土地及工作人员而言，将造成无法弥补的伤害。

是以，本案创作人在观察到上述缺失，遂而有本实用新型的产生。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种冷却装置的磁力泵结构，其设于一冷却装置内的一冷却循环模块中，所述磁力泵结构内部叶轮内的转轴不需要延伸到后端的驱动马达，而可以完全密封于一隔离罩内，因此不需要使用传统的轴封机构将内转轴延伸出所述隔离罩，整体上可以有效的防止冷却液外泄。

本实用新型的次要目的是提供一种冷却装置的磁力泵结构，其能免除上述轴承与转子的直接接触所产生的磨耗现象，进而提升使用寿命。

本实用新型的又一目的是提供一种冷却装置的磁力泵结构，其应用半导体工业的集成电路生产制程中，并使其制造产品良率稳定，且能防止冷却液泄露而与空中的水分子(H₂O)反应生成氢氟酸(HF)的问题，以及免除造成生产过程中因冷却液泄漏，所对环境、产品及工作人员造成的伤害。

为达上述目的，本实用新型所提供的冷却装置的磁力泵结构，其设于一冷却装置内的一冷却循环模块中，所述冷却循环模块具有一蒸发器，所述蒸发器连接一加热器，所述加热器连接一储存箱，所述储存箱连接一磁力泵，所述磁力泵连接一压力计，而所述压力计连接一流量计，其中，所述磁力泵，包括有一驱动马达，其一侧具有一驱动转轴，所述驱动转轴连接有一外驱动磁铁，所述外驱动磁铁设于一轴筒内，且所述外驱动磁铁凹设一容置槽，所述容置槽设有一隔离罩，且所述外驱动磁铁与所述隔离罩相隔有一间距，又，所述隔离罩内具有一容置空间，所述容置空间内设置有一内转轴结构，所述内转轴结构具有一转轴，所述转轴的一端设有一内驱动磁铁，而另一端连接一叶轮，一泵壳组件内设有所述叶轮，且所述泵壳组件外侧设有至少一吸入口及至少一排出口。

较佳地，其中所述泵壳组件具有一叶轮盖及一壳体，所述壳体一侧穿设有一穿孔，而另一侧具有一开口，而所述叶轮盖封盖所述开口。

较佳地，其中所述叶轮具有一轴孔，所述轴孔内设有一衬套。

较佳地，其中所述轴筒对应于所述泵壳组件的一侧更设有一固定架，所述固定架连接所述隔离罩。

较佳地，其中所述外驱动磁铁具有一连接部与一驱动部，所述连接部连接所述驱动转轴，而所述驱动部设有所述容置槽。

较佳地，其中所述外驱动磁铁为外转子结构。

较佳地，其中所述内驱动磁铁为内转子结构。

较佳地，其中当所述驱动马达带动所述外驱动磁铁旋转时，所述外驱动磁铁应用磁力的方式带动所述内驱动磁铁旋转，从而带动所述内转轴结构及所述叶轮旋转，并推送所述泵壳组件内的一液体。

较佳地，其中所述液体为冷却液。