[实用新型]湿制程除静电装置及湿制程设备

权利要求书

1.一种湿制程除静电装置，其特征在于，包括：用于提供带电离子气团的离子除静电机构以及用于为所述离子除静电机构提供气体的气体送入机构，所述离子除静电机构设置于湿制程设备的缓冲区间内，所述气体送入机构连接所述离子除静电机构。

2.如权利要求1所述的湿制程除静电装置，其特征在于，所述离子除静电机构为离子枪或者离子棒。

3.如权利要求1所述的湿制程除静电装置，其特征在于，所述湿制程除静电装置还包括一第一挡门板和一第二挡门板，所述第一挡门板设置于所述缓冲区间的入口处并用于封闭或者打开所述缓冲区间的入口，所述第二挡门板设置于所述缓冲区间的出口处并用于封闭或者打开所述缓冲区间的出口。

4.如权利要求3所述的湿制程除静电装置，其特征在于，所述湿制程除静电装置还包括一排气机构，所述排气机构设置于所述缓冲区间内并用于排除所述缓冲区内的气体。

5.如权利要求4所述的湿制程除静电装置，其特征在于，所述湿制程除静电装置还包括一控制机构，所述控制机构分别与所述气体送入机构、离子除静电机构、排气机构、第一挡门板以及第二挡门板信号连接，并用于控制所述气体送入机构、离子除静电机构、排气机构、第一挡门板以及第二挡门板的开闭时机和频率。

6.如权利要求4所述的湿制程除静电装置，其特征在于，所述气体送入机构、离子除静电机构、排气机构、第一挡门板以及第二挡门板中的至少一个固定安装或者可拆卸式安装在所述缓冲区间内。

7.如权利要求1所述的湿制程除静电装置，其特征在于，所述离子除静电机构的表面具有一防腐材料层。

8.一种湿制程设备，包括如权利要求1至7中任一项所述的湿制程除静电装置。

9.如权利要求8所述的湿制程设备，其特征在于，所述湿制程设备包括三个以上的湿区间，任意两个相邻湿区间之间均设有所述缓冲区间，每个缓冲区间内均设置有一个所述湿制程除静电装置。

10.如权利要求8所述的湿制程设备，其特征在于，所述湿制程设备包括三个以上的湿区间，任意两个相邻湿区间之间均设有所述缓冲区间，整个所述湿制程设备中仅设有一个所述湿制程除静电装置，所述湿制程除静电装置还包括一移动机构，所述湿制程除静电装置的气体送入机构、离子除静电机构、排气机构、第一挡门板以及第二挡门板均安装在所述移动机构上，所述移动机构能够在不同的缓冲区间之间移动。