[实用新型]扩散炉尾气处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池板生产用设备，具体涉及一种扩散炉尾气的处理排放装置。

背景技术

随着石油、天然气、煤炭等不可再生能源的日益减少，人类面临着越来越严重的能源危机，从而促进了世界各国对风能、潮汐能和太阳能等可再生能源的开发和利用。其中，太阳能作为一种可再生能源，以其取之不尽、用之不竭、无污染、廉价等优点越来越受到人类的重视。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏发电，可以将太阳能直接转换为电能，其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。

目前，晶硅太阳能电池以其良好的稳定性和成熟的工艺流程已被大规模应用到各个领域其中，扩散工序是晶硅太阳能电池生产中的关键步骤，主要用于在硅片上制备PN结。现有太阳能电池的扩散工序主要在管式扩散炉内进行，由于在扩散工序过程中会产生残余的废气，因此，通常会在管式扩散炉上设置尾气出口，尾气出口通过尾气输出管道与尾气处理装置入口的排废管相连，从而将扩散尾气输送至尾气处理装置，大部分尾气经尾气处理装置的接液瓶冷凝为液体或固体，残存的尾气则通过尾气排放管道由风排抽走。

但由于现有技术中的尾气处理装置冷却路径较短，从而导致废气没有完全冷却即直接被风排抽走，当尾气到达尾气排放管道时开始冷却，从而造成尾气排放管道堵塞和接液瓶内部积霜，严重时，排废管内由于聚集太多偏磷酸而断裂，且过多的偏磷酸也会使尾气输出管道与尾气处理装置入口的排废管黏连拔不出来，需要拆除尾气输出管道并水洗才能拔除排废管，严重影响了设备的稼动率。

如，中国专利申请号：201320470628.9，申请日：2013年08月02日，发明创造名称为：太阳能电池扩散尾气处理装置，该申请案中的扩散炉管即通过尾气输出管道将扩散尾气输送至尾气处理机构，大部分扩散尾气在尾气处理机构的残液罐内冷凝为液体或固体，部分扩散尾气则通过尾气排泄管道进行排放。由于该申请案中尾气处理机构的冷却行程较短，大部分尾气易进入尾气排泄管道内发生冷凝，从而导致尾气排泄管道堵塞，严重影响设备的正常运行。

此外中国专利，CN201521106816.9，公告号CN205231091U，名称为“一种高效冷凝的太阳能电池扩散尾气处理装置”，披露了一种尾气处理装置。其利用两级冷凝以提高冷凝效果。但其二级冷凝使用的石英珠，在实际应用中会粘附冷凝液，长时间使用，一是降低冷凝效果，二是会堵塞气路，导致排气不畅，影响扩散炉工作。

中国专利公告号为CN205913926U，名称为“一种高温扩散炉废气过滤排放装置”披露了一种尾气过滤装置，其利用水作为过滤介质对尾气进行过滤，但实际效果并不理想。一，高温尾气进入水中，水迅速气化将尾气也从水中带出，尾气实际与水接触的几率并不高，设置在外壳上的散热片根不来不及对水进行降温，二、大量水气化进入烟道后会快速冷凝，其设置在烟道内的吸水树脂会因为吸水膨胀，使用一段时间后，就会堵塞干燥装置，从而堵塞烟道，导致整个系统无法工作。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能够对扩散炉尾气进行冷凝和过滤，且保证排烟顺畅的扩散炉尾气处理装置。

为了实现上述目的，本实用新型包括扩散炉，其特征在于，所述扩散炉的尾气管与一个冷凝箱连通，该冷凝箱的外表面固定冷却盘管，冷凝箱的底面设置储液罐，冷凝箱的下部有一个排烟管；

所述冷却盘管内填充冷水，其入水口位于冷凝箱的上部，其出水口位于冷凝箱的下部，其出水口与两个出水管连通，分别为横向出水管和雾化水管；

所述排烟管与一个过滤罐的底端连通，所述横向出水管与过滤罐的底部连通，所述横向出水管水平向过滤罐内注水，且注水方向与过滤罐内表面相切，使过滤罐中的水顺时针或逆时针旋转，所述排烟管水平向过滤罐内排烟，排烟方向与过滤罐内表面相，且排烟方向与过滤罐中的水的旋转方向一致，所述过滤罐的中部设有一个溢水口；

还包括一个雾化器，所述雾化水管向雾化器内供水，该雾化器向过滤罐上部释放水雾；

所述过滤罐的顶部有一排烟筒。

尾气通过冷凝箱由于冷却盘管的作用，快速降温，并有一部分尾气冷凝液化进入储液罐中。随后尾气进入过滤罐，与从冷却盘管中流出的水接触进行过滤。接着雾化器释放的雾化水滴填充在过滤罐的上部，第一，从水中释放出的尾气经过雾化区与水滴接触，气流作用下水滴相互接触凝聚成大水滴低落，从而进一步吸收尾气中有害成分，第二，水雾本身也能够吸收尾气中有害成分，由于水雾不断生成，浓度达到一定限值就会凝聚滴落，达到净化尾气的作用。