[实用新型]一种浮动真空机构

权利要求书

1.一种浮动真空机构，其包括真空腔体、顶升腔体和真空平台，其特征在于：其包括固定底板和活塞轴，所述顶升腔体通过弹性支撑构件与固定底板连接；所述真空平台与活塞轴的一端连接，所述活塞轴的另一端穿过顶升腔体的底部与固定底板连接；所述顶升腔体与活塞轴之间密封连接。

2.根据权利要求1所述的浮动真空机构，其特征在于：其包括活塞套，所述活塞套套在活塞轴外，所述活塞套通过密封法兰与顶升腔体的底部连接，所述密封法兰位于活塞套的底部。

3.根据权利要求2所述的浮动真空机构，其特征在于：所述活塞套的顶部与顶升腔体的底部之间设有胶垫，所述胶垫的一端凸出于活塞套的侧壁，并通过压紧法兰与顶升腔体的底部连接。

4.根据权利要求3所述的浮动真空机构，其特征在于：所述活塞轴与活塞套之间设有O型密封圈。

5.根据权利要求4所述的浮动真空机构，其特征在于：所述活塞轴为至少两个，对称设置在真空平台的底部，所述活塞套的数量与活塞轴相同。

6.根据权利要求1~5任意一项所述的浮动真空机构，其特征在于：所述活塞轴底部通过调节螺栓与固定底板连接。

7.根据权利要求6所述的浮动真空机构，其特征在于：所述弹性支撑构件为至少两个，对称分居于所述活塞轴的外侧。

8.根据权利要求7所述的浮动真空机构，其特征在于：所述弹性支撑构件为弹簧。

9.根据权利要求1~5任意一项所述的浮动真空机构，其特征在于：所述顶升腔体的顶部设有腔体密封圈，抽真空工作时，所述顶升腔体通过腔体密封圈与工作台面连接。