[实用新型]药液储存槽及湿制程装置

说明书

技术领域

本实用新型属于显示技术领域，涉及一种在显示面板制造过程中回收刻蚀液的药液储存槽及湿制程装置。

背景技术

有源矩阵有机发光显示屏(AMOLED)等电子显示装置主要是基于玻璃基板(glass)制造的，在制造显示面板的过程中，有多道制程会使用到湿制程装置，湿制程装置主要是采用各种刻蚀液(也称药液)对各种膜层诸如介质层或金属膜层进行刻蚀或清洗，刻蚀或清洗后产生的废液中有生成物，生成物会随着废液流入到一种药液储存槽(Tank)中。然而，申请人发现，在废液排除时，部分生成物可以随着废液排除出去，还有一部分生成物未排出，这些未排出生成物随着时间推移在Tank底部慢慢聚集，当Tank中的药液回收利用时，会影响药液的使用寿命，同时还影响产品良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，解决现有技术中在显示面板制造过程中生成物在储存槽底部聚集导致影响药液使用寿命和产品良品率的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种药液储存槽，包括：接收废液的槽体、排液管道和搅拌装置，所述槽体具有一内腔，所述排液管道的一端与所述槽体的内腔连通；所述搅拌装置设置于所述内腔内，用于对所述槽体内的液体进行搅拌。

进一步的，还包括回流管道，所述回流管道与所述内腔的顶部连通，所述排液管道与所述内腔的侧壁连通。

优选的，所述排液管道与所述内腔的侧壁并靠近底部的位置连通。

进一步的，所述槽体的形状为立方体或圆柱体，所述槽体的侧面靠近其底面处开设有与所述内腔连通的第二接口，所述排液管道与所述第二接口连通。

进一步的，所述搅拌装置包括搅拌叶片和用于驱动所述搅拌叶片转动的电机，所述电机的输出轴的一端贯穿所述槽体的底部设置于所述内腔内，所述叶片套设于所述输出轴的一端上。

进一步的，所述搅拌装置包括移动挡板和电机，所述移动挡板设置于所述内腔的底部，所述电机用于驱动所述移动挡板往复运动。

进一步的，所述药液储存槽还包括循环泵，所述循环泵的入口端和出口端均与所述内腔连通。

进一步的，所述循环泵的入口端与所述内腔的底部连通。

进一步的，所述槽体的形状为立方体或圆柱体，所述槽体的侧面靠近其底面处开设有与所述内腔连通的第三接口，所述槽体的侧面靠近其顶面处开设有与所述内腔连通的第四接口，所述循环泵的入口端与所述第三接口连通，所述循环泵的出口端与所述第四接口连通。

本实用新型还提供了一种湿制程装置，包括刻蚀槽和上述的药液存储槽。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种药液储存槽，其通过设置搅拌装置使得沉积在槽体底部的生成物可以被带出，与废液一起从排液管道排出，解决了现有技术中生成物在槽体底部聚集导致影响药液使用寿命和产品良品率的问题。

另外，本实用新型的实施例还设置了循环泵，进一步加强了生成物的循环流动，使其更易随废液一起被排出。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的一种药液储存槽的结构示意图；

图2是本实用新型另一实施例提供的一种药液储存槽的结构示意图；

图3是本实用新型一实施例提供的一种湿制程装置的结构示意图；

图4是本实用新型另一实施例提供的一种湿制程装置的结构示意图；

其中，1-槽体；2-回流管道；3-排液管道；4-搅拌装置；5-循环泵；6-刻蚀槽。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的一种药液储存槽及湿制程装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。

图1和图2是本实用新型一实施例提供的一种药液储存槽的示意图。请参考图1和图2，一种药液储存槽，包括：接收废液的槽体1、回流管道2、排液管道3和搅拌装置4，所述槽体1具有一内腔(图中未标出)。所述回流管道2的一端和所述排液管道3的一端均与所述内腔连通，通过所述回流管道2向所述槽体1内注入刻蚀后的生成物及废液，所述排液管道3用于将槽体1内的废液排出所述槽体1。所述搅拌装置4设置于所述内腔中(优选是内腔的底部)，用于对所述槽体1内的液体进行搅拌，从而将沉积在所述槽体1底部的生成物搅拌起来，使沉积的生成物随废液从所述排液管道3一起排出槽体1。