[实用新型]一种真空扩散焊散的抽真空装置

说明书

本实用新型公开了一种真空扩散焊的抽真空装置，包括通过管道连接的叶片泵、真空泵和油扩散泵，所述叶片泵与所述真空泵之间设置有电磁阀，所述电磁阀通过波纹管与所述真空泵进行连接，所述真空泵与所述油扩散泵之间连接有两套独立的管道，两套所述管道分别为第一管道和第二管道，两套所述管道上均连接有一真空阀，设置在所述第一管道上设真空阀为第一真空阀，设置在所述第二管道上的真空阀为第二真空阀。本抽真空装置为三级抽真空装置，具有良好的抽真空的效果。

技术领域

本实用新型涉及抽真空技术领域，具体涉及一种真空扩散焊的抽真空装置。

背景技术

现有技术的真空扩散焊设备的抽真空装置通常采用一个真空泵进行抽真空，但是只有一个真空泵的抽真空装置的抽真空效果不佳，且当真空泵出现故障时就不能进行生产。

实用新型内容

本实用新型提供一种真空扩散焊的抽真空装置，以解决上述技术问题。

本实用新型提供一种真空扩散焊的抽真空装置，包括通过管道连接的叶片泵、真空泵和油扩散泵，所述叶片泵与所述真空泵之间设置有电磁阀，所述电磁阀通过波纹管与所述真空泵进行连接，所述真空泵与所述油扩散泵之间连接有两套独立的管道，两套所述管道分别为第一管道和第二管道，两套所述管道上均连接有一真空阀，设置在所述第一管道上设真空阀为第一真空阀，设置在所述第二管道上的真空阀为第二真空阀。

优选地，所述真空泵为罗茨泵。

优选地，所述真空阀与所述管道之间设置有密封圈。

优选地，所述真空泵的外壳内层设置有降温水道。

优选地，所述管道壁的内层中开设有布线管道。

与现有技术相比本实用新型具有以下优点：

本实用新型的真空扩散焊的抽真空装置，包括通过管道连接的叶片泵、真空泵和油扩散泵，所述叶片泵与所述真空泵之间设置有电磁阀，所述电磁阀通过波纹管与所述真空泵进行连接，所述真空泵与所述油扩散泵之间连接有两套独立的管道，两套所述管道分别为第一管道和第二管道，两套所述管道上均连接有一真空阀，设置在所述第一管道上设真空阀为第一真空阀，设置在所述第二管道上的真空阀为第二真空阀。

本抽真空装置为三级抽真空装置，先通过所述抽真空泵单独粗抽真空，然增开所述叶片泵抽真空，最后三泵其开实现精抽真空操作。

本抽真空装置的其中一个泵出现故障后可以将其关闭，利用其它的泵进行抽真空操作。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型实施例中的真空扩散焊的抽真空装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中的管道的结构示意图。

附图标记：

1、叶片泵；

2、真空泵；

3、油扩散泵；

4、电磁阀；

5、波纹管；

6、第一管道；

7、第二管道；

8、第一真空阀；

9、第二真空阀；

10、密封圈；

11、布线管道。