[实用新型]驱动平台及包含其的真空操纵系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种驱动平台及包含其的真空操纵系统。

背景技术

在大气环境中，如果需要同时使得物体在两个方向上线性移动具有多种实现方式。但是当被移动的物体位于真空腔中时，这种线性移动就遇到了困难。一般来说，出于设备的精简和布线的便利性考虑，驱动器(例如电机)都是位于真空腔外的大气环境中的，而被驱动物(例如离子注入机的引出电极)则是被置于真空腔中的。

一般来说，被驱动物的线性移动可以采用波纹管来实现，但是通过波纹管的移动只能实现单一方向的线性移动，如果要同时使得被驱动物实现在两个不同方向上的移动就比较困难了，特别是在两个相互垂直的方向上移动。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术真空腔中的被驱动物实现在两个方向上的移动比较困难的缺陷，提供一种驱动平台及包含其的真空操纵系统。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

一种驱动平台，其特点在于，所述驱动平台包括：

第一躯干平台，所述第一躯干平台的一端设有第一滑块，所述第一滑块滑设于第一导轨，所述第一躯干平台的另一端设有第二导轨；

中间躯干平台，所述中间躯干平台与所述第一躯干平台相对应的一端设有第二滑块，所述第二滑块滑设于所述第二导轨，所述中间躯干平台还设有第三滑块；

第二躯干平台，所述第二躯干平台与所述中间躯干平台联动，所述第二躯干平台设有第三导轨，所述第三滑块滑设于所述第三导轨；

其中，所述第一滑块与所述第三滑块的移动方向平行，所述第二滑块的移动方向与所述第三滑块的移动方向形成有一夹角。

在本技术方案中，通过设置所述驱动平台的结构实现了被驱动物在真空腔中两个不同方向上的移动，同时，实现第一躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第二躯干平台的移动，以及第二躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第一躯干平台的移动。

较佳地，所述夹角为90度。

较佳地，所述第二躯干平台穿设于所述中间躯干平台，且所述第二躯干平台抵靠于所述中间躯干平台。

在本技术方案中，通过设置所述第二躯干平台穿设于所述中间躯干平台的结构，使所述第二躯干平台实现带动所述中间躯干平台沿所述第二躯干平台的移动方向移动时，不影响所述第一躯干平台的移动；同时，当第一躯干平台带动所述中间躯干平台沿所述第一躯干平台的移动方向移动时，不影响所述第二躯干平台的移动。

较佳地，所述驱动平台还包括第一驱动部件和第二驱动部件，所述第一驱动部件与所述第二躯干平台连接，所述第二驱动部件与所述第一躯干平台连接。

在本技术方案中，通过设置第一驱动部件带动了第二躯干平台沿第一驱动部件的移动方向的移动；通过设置第二驱动部件带动了第一躯干平台沿第二驱动部件的移动方向的移动。

较佳地，所述第二躯干平台设有轴套，所述第一驱动部件的一端穿设于所述轴套。

较佳地，所述第二躯干平台还设有万向节，所述万向节套设于所述轴套外。

在本技术方案中，通过设置万向节，用于补偿因第一驱动部件的移动方向和第二躯干平台的移动方向不平行的情况，使得即使两者不平行，也不会造成卡死。

一种真空操纵系统，所述真空操纵系统包括如上所述的驱动平台。

本实用新型的积极进步效果在于：

本实用新型实现了被驱动物在真空腔中两个不同方向上的移动，同时，实现第一躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第二躯干平台的移动，以及第二躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第一躯干平台的移动；并且，本实用新型结构简单，节省成本。

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施例的的驱动平台的装配示意图。

图2为本实用新型一较佳实施例驱动平台的立体结构示意图。

图3为本实用新型一较佳实施例的驱动平台的主视图。

附图标记说明

第一躯干平台 10

第一滑块 11

第二导轨 12

通孔 14

中间躯干平台 20

第二滑块 22

第三滑块 23

上中间躯干平台 24

下中间躯干平台 25

容置腔 26

第二躯干平台 30

第三导轨 33

轴套 34

万向节 35

第一导轨 41

第一驱动部件的移动方向 A