[实用新型]主关节部件及包含其的真空操纵系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种主关节部件及包含其的真空操纵系统。

背景技术

在大气环境中，如果需要同时使得物体在两个方向上线性移动具有多种实现方式。但是当被移动的物体位于真空腔中时，这种线性移动就遇到了困难。一般来说，出于设备的精简和布线的便利性考虑，驱动器(例如电机)都是位于真空腔外的大气环境中的，而被驱动物(例如离子注入机的引出电极)则是被置于真空腔中的。

目前，现有技术中，连接驱动器和被驱动物的关节部件存在不能保障移动的稳定性以及移动行程的精确性的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术的关节部件存在不能保障移动的稳定性以及移动行程的精确性的缺陷，提供一种主关节部件及包含其的真空操纵系统。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

一种主关节部件，其特点在于，所述主关节部件包括：

主关节躯干；

第一轴承，所述第一轴承的一端与所述主关节躯干连接，且所述第一轴承的中心轴线与所述主关节躯干所在的平面垂直；

万向节支架，所述万向节支架所在的平面与所述主关节躯干所在的平面平行，所述万向节支架与所述第一轴承对应的位置设有第一安装孔；

万向节，所述万向节卡设于所述第一安装孔内，且所述万向节套设于所述第一轴承外；

第二轴承，所述第二轴承的一端与所述万向节支架连接，且所述第二轴承的中心轴线与所述万向节支架所在的平面垂直。

本技术方案，通过设置万向节，使主关节部件的传动更为稳定和精确，从而保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。

较佳地，所述主关节部件还包括预紧装置，所述预紧装置的一端与所述主关节躯干连接，所述预紧装置的另一端抵靠于所述万向节支架。

较佳地，所述预紧装置包括：

预紧弹簧支架，所述预紧弹簧支架与所述主关节躯干连接；

弹簧柱塞，所述弹簧柱塞的一端固定于所述预紧弹簧支架，所述弹簧柱塞的另一端抵靠于所述万向节支架。

较佳地，所述预紧装置的数量为两个，两个所述预紧装置的一端均与所述主关节躯干连接，两个所述预紧装置的另一端分别抵靠于所述万向节支架中面向所述主关节躯干的一面的相对设置的两端。

本技术方案，通过设置预紧装置，限定了卡设于万向节支架的万向节的外圈的位置，这样使万向节的外圈和内圈位于相对固定的位置，使传动更为稳定和精确，从而保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。

较佳地，所述主关节部件还包括：

第一轴承固定支架，所述第一轴承固定支架可拆卸地连接于所述万向节支架远离所述主关节躯干的一面，且所述第一轴承固定支架与所述第一轴承对应的位置设有第二安装孔；

第一轴承紧固件，所述第一轴承紧固件的外壁卡设于所述第二安装孔内，且所述第一轴承紧固件的一端卡设于所述第一轴承远离所述主关节躯干的一端。

本技术方案，通过设置第一轴承固定支架和第一轴承紧固件，限定了万向节的内圈的位置，这样使万向节的内圈和外圈位于相对固定的位置，使传动更为稳定和精确，从而保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。

较佳地，所述主关节部件还包括防护板，所述防护板与所述主关节躯干连接。

较佳地，所述防护板的数量为两个，两个所述防护板分别与所述主关节躯干相对设置的两侧壁连接。

一种真空操纵系统，所述真空操纵系统包括如上所述的主关节部件。

本实用新型的积极进步效果在于：

本实用新型的主关节部件保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。

附图说明

图1为本实用新型一较佳实施例的主关节部件的立体结构示意图。

图2为本实用新型一较佳实施例的主关节部件的装配示意图。

附图标记说明

主关节躯干 10

第一轴承 20

万向节支架 30

第一安装孔 31

万向节 40

外圈 41

内圈 42

预紧装置 50

预紧弹簧支架 51

弹簧柱塞 52

第一轴承固定支架 60

第二安装孔 61

第一轴承紧固件 70

第二轴承 80

防护板 90

具体实施方式