[实用新型]工艺尾气处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示器制作领域，特别是涉及一种工艺尾气处理装置。

背景技术

半导体、显示行业等中，在面板制作期间会生成对人体具有毒性的气体，将此类有毒性的气体排出前，需要将毒性物质去除以保证工业生产安全。在现有技术中，通常将气体燃烧的方法来去气体内的毒性物质。然而，燃烧产生的高温气体、以及高温气体在排出的过程中会使整个装置内部的温度变高，加速了装置内部元器件的老化，甚至会导致安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种工艺尾气处理装置，其能按需通入冷却空气，有效地对装置内部进行降温。

本实用新型实施例提供一种工艺尾气处理装置，包括壳体和设置在所述壳体内的燃烧室，在所述壳体和燃烧室之间形成了内部空腔，所述工艺尾气处理装置还包括第一进气通道和排气通道，所述第一进气通道与所述内部空腔连通以向其内部导入冷却空气，所述排气通道与所述内部空腔连通以排出所述内部空腔的气体。本实用新型能在工艺尾气处理装置通入冷却空气，有效地对装置内部进行降温。

进一步地，所述第一进气通道内设有流量调节阀，所述流量调节阀用于调节进入所述内部空腔的冷却空气的量。

进一步地，所述燃烧室与所述排气通道连通。

进一步地，所述排气通道包括第一端部、第二端部和中间部，所述中间部连接在所述第一端部和所述第二端部之间，所述第一端部与所述内部空腔连通，所述第二端部是所述排气通道的出口端；所述燃烧室的出口与所述中间部连通。工艺尾气进入燃烧室燃烧后从排气通道排出；冷却空气经第一进通道进入壳体的内部空腔进行降温后再经排气通道排出，两股气流在排气通道混合进一步对燃烧后的气体进行降温，有效地降了整个工艺尾气处理装置内部的温度以及从工艺尾气处理装置排出的气体的温度。

进一步地，所述工艺尾气处理装置还包括温度检测装置，所述温度检测装置包括第一温度传感器，所述第一温度传感器设置在所述排气通道内并位于所述燃烧室的出口与所述第二端部之间。

进一步地，所述温度检测装置包括第二温度传感器，所述第二温度传感器设置在所述排气通道的第一端部。

进一步地，所述温度检测装置包括第三温度传感器，所述第三温度传感器设置在所述排气通道的第二端部。

进一步地，所述工艺尾气处理装置还包括第二进气通道；所述第二进气通道与所述燃烧室连通以导入所述工艺尾气。

进一步地，所述工艺尾气处理装置还包括助燃空气入口，所述助燃空气入口与所述燃烧室连通以导入助燃空气。

进一步地，所述第一进气通道内设有隔离网。

在本实用新型的工艺尾气处理装置中，使用了第一进气通道想内部空腔内通入冷空气，以给燃烧室降温，并且给排气通道降温，由此减缓了装置内部元器件的老化，使得装置能安全地运行较长时间。此外，通过在第一进气通道内设置流量调节阀，实现了按需通入冷却空气到壳体的内部空腔，因此在冷却空气的进气量较小时，无需设置大量的风机来维持排风端的负载，减少风机的使用数量，节省了动力设备成本；同时，冷却空气的进气量较小时还能提高排气通道内的排风动压，减少了含有固态粉尘的生成物在管道内堆积，提高设备稼动率，也节省了后期的维护成本。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的工艺尾气处理装置的结构示意图。

图2本实用新型较佳实施例的流量调节阀的结构示意图。

图3是沿图2的Ⅲ-Ⅲ线的剖视结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术方式及功效，以下结合附图及实施例，对本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

图1为本实用新型较佳实施例的工艺尾气处理装置的结构示意图。如图1所示，工艺尾气处理装置100包括壳体101和设置在壳体内的燃烧室110。燃烧室110用于接收和燃烧工艺尾气。工艺尾气处理装置100还包括第一进气通道120和排气通道130，第一进气通道120与壳体101的内部空腔102连通，第一进气通道120用于导入冷却空气到内部空腔102内。第一进气通道120内设有流量调节阀150。排气通道130用于排出壳体101的内部空腔102的气体。

具体地，壳体101大致为六面立体结构，壳体101内部除了安置燃烧室110和部分管道外，还具有一定的空间，该空间即是指壳体101的内部空腔102。