[实用新型]真空操纵系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空操纵系统，特别涉及一种引出电极的真空操纵系统。

背景技术

在大气环境中，如果需要同时使得物体在两个方向上线性移动具有多种实现方式。但是当被移动的物体位于真空腔中时，这种线性移动就遇到了困难。一般来说，出于设备的精简和布线的便利性考虑，驱动器(例如电机)都是位于真空腔外的大气环境中的，而被驱动物(例如离子注入机的引出电极)则是被置于真空腔中的。这样一来就需要将大气环境中的驱动力传递到真空中，由此衍生出真空密封和力的传递问题，必须在保证真空腔真空度的条件下完成力的传递。

一般来说，线性移动可以采用波纹管来实现，但是通过波纹管的移动只能实现一维的线性移动，如果要同时使得被驱动物实现在两个方向上的移动就比较困难了，特别是在两个相互垂直的方向上移动。因为波纹管的弯折度是有限的，难以实现90度的弯折；如果采用两根以相互垂直的角度连接的波纹管来实现二维方向上的移动，先不说移动行程的精确性，移动的稳定性都很难保障。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术中同时使真空腔中的被驱动物实现在两个方向上的移动比较困难的缺陷，提供一种真空操纵系统。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：

一种真空操纵系统，用于操纵一被驱动物在真空条件下的移动，其特点在于，所述真空操纵系统包括：

真空密封装置，所述真空密封装置设有真空腔和若干驱动孔，所述驱动孔与所述真空腔连通；

驱动平台，所述驱动平台位于所述真空腔内；

驱动部件，所述驱动部件穿设于所述驱动孔，且所述驱动部件的一端位于所述真空腔内且与所述驱动平台连接，所述驱动部件的另一端位于真空密封装置外；

波纹管，所述波纹管用于密封所述驱动部件和所述驱动孔之间的间隙；

关节部件，所述关节部件位于所述真空腔内，所述关节部件的一端与所述被驱动物连接，所述关节部件的另一端与所述驱动平台连接；

其中，所述驱动部件驱动所述驱动平台、所述驱动平台驱动所述关节部件，所述关节部件带动所述被驱动物在真空条件下移动。

在本技术方案中，通过将驱动部件、波纹管和真空密封装置结合，简化了真空操纵系统的整体结构；同时，本实用新型的真空操纵系统即实现了真空腔的真空密封，又实现了驱动部件与真空腔结合的结构，优化了真空操纵系统的整体功能；在本技术方案中，通过述驱动部件驱动驱动平台、驱动平台驱动关节部件，关节部件带动被驱动物在真空条件下移动，而实现被驱动物在不同方向的移动。

较佳地，所述真空密封装置包括：

主体框架，所述主体框架设有第一真空腔和开口，所述开口与所述第一真空腔连通；

操纵器躯干，所述操纵器躯干对应于所述开口设置，且所述操纵器躯干密封连接于所述主体框架，所述操纵器躯干设有第二真空腔；

其中，所述第二真空腔与所述第一真空腔连通并形成所述真空腔，所述驱动孔设于所述操纵器躯干。

在本技术方案中，通过设置操纵器躯干，缩小了真空操纵系统的整体体积，并简化了真空操纵系统的结构。

较佳地，所述操纵器躯干可拆卸地连接于所述主体框架。

较佳地，所述波纹管对应于所述驱动部件设置，且所述波纹管的一端密封连接于所述真空密封装置的外壁，所述波纹管的另一端与所述驱动部件连接，所述驱动部件穿设于所述波纹管。

较佳地，所述驱动部件包括第一驱动部件和第二驱动部件，所述第一驱动部件和第二驱动部件均与所述驱动平台连接，且所述第一驱动部件的移动方向和第二驱动部件的移动方向设有夹角。

在本技术方案中，通过设置不同移动方向的第一驱动部件和第二驱动部件，实现了被驱动物在真空腔中不同方向的移动。

较佳地，所述夹角为90度。

较佳地，所述第一驱动部件包括一驱动臂，所述驱动臂为L形；

所述驱动臂包括驱动杆和驱动连接杆，所述驱动杆的一端与所述波纹管连接，所述驱动杆的中心轴线与所述第一驱动部件的移动方向平行，所述驱动连接杆的中心轴线垂直于所述驱动杆的中心轴线，且所述驱动连接杆的一端套设于所述驱动杆的另一端；

所述驱动杆套设有第一万向节，所述第一万向节用于保持所述驱动杆的移动方向。

在本技术方案中，通过设置驱动臂的结构，缩小了第一驱动部件的整体占用空间，同时简化了真空操纵系统的整体结构。在本技术方案中，通过在驱动杆套设第一万向节，保证了驱动杆沿移动方向移动的稳定性及移动方向的精确度。

较佳地，所述驱动平台包括：