[实用新型]漏液检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体器件制备领域，具体涉及一种漏液检测装置。

背景技术

湿法设备(例如：清洗设备、显影设备、湿法刻蚀设备和剥离设备)被广泛的应用于半导体器件的制备工艺中，然而很多湿法设备都不可避免地存在漏液问题。漏液不仅会导致对设备的损坏，还会危害操作人员的身体健康，因此需要经常检测设备漏液的部位并采取相应的修补措施。当漏液的部位在设备内部时，由于漏液不易发现，因此很难辨别漏液的化学特性及危害性。

现有技术中对于漏液的检测仍主要依赖于人工完成。首先，人工使用手电筒照射设备底部及周围查找漏液(每台需花费耗时长约0.5小时左右)，然后再人工使用PH试纸测试漏液的酸碱性。这种依赖于人工的检测方式不仅效率低，而且还可能会对检测人员的身体健康造成一定危害。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种漏液检测装置，解决了现有漏液检测方式的检测效率低以及会对检测人员造成危害的问题。

本实用新型一实施例提供的一种漏液检测装置包括：

手柄；

检测机构，设置在所述手柄的一端；以及

照明机构，与所述检测机构设置在所述手柄的同一端。

其中，所述检测机构包括：温度/湿度探头和/或酸碱度探头。

其中，所述检测机构包括：温度/湿度探头以及酸碱度探头；

其中，所述照明机构设置在所述温度/湿度探头和所述酸碱度探头之间。

其中，所述漏液检测装置进一步包括：

伸缩驱动机构，与所述检测机构连接，构造为驱动所述检测机构伸出所述手柄的一端，或缩回至所述手柄的内部。

其中，所述漏液检测装置进一步包括：与所述手柄相连的外壳，所述外壳包括一个外壳端口；

其中，所述伸缩驱动机构包括：

滑块，所述滑块的表面上设置有径向向外延伸的多个定位销，所述滑块的第一端能穿过所述外壳端口而驱动所述检测机构；

设置在所述外壳的内壁上且朝向所述滑块沿径向延伸的止位销，所述止位销能与所述定位销接合；

设置于所述外壳中的滑动式容纳所述滑块的滑道，所述滑道能被弹性地挤压和回复；以及

径向穿过所述外壳并能径向挤压所述滑块的检测开关。

其中，所述滑块的第二端构造有径向向外延伸的挡块，所述挡块能与所述止位销接合。

其中，所述挡块与所述止位销共直线设置，所述检测开关偏离所述直线设置。

在一个实施例中，所述检测开关具有镂空部分，所述挡块和/或定位销能运动穿过所述镂空部分。

其中，所述装置进一步包括：

径向地支撑所述滑道的弹簧组。

其中，所述照明机构为LED灯。

其中，所述漏液检测装置进一步包括：

显示组件，设置在所述手柄上并与所述检测机构电连接，构造为显示所述检测机构的检测结果。

其中，所述漏液检测装置进一步包括：

报警组件，设置在所述手柄上并与所述检测机构电连接，构造为当所述检测机构的检测结果超过预设阈值时发出报警信号。

其中，所述手柄的至少一部分采用防滑材料制成，或所述手柄的至少一部分包括防滑表面。

本实用新型实施例提供的一种漏液检测装置，将检测机构和照明机构集成在手柄的同一端。这样检测人员通过手握该装置的手柄就可同时完成查找漏液部位时的照明动作以及对于漏液的检测动作，既提高了漏液检测的效率，又避免了对于检测人员的身体危害。

附图说明

图1所示为本实用新型一实施例提供的一种漏液检测装置的结构示意图。

图2所示为本实用新型另一实施例提供的一种漏液检测装置的结构示意图。

图3所示为本实用新型另一实施例提供的一种漏液检测装置的伸缩驱动机构的结构示意图。

图4所示为本实用新型另一实施例提供的一种漏液检测装置的结构示意图。

图5所示为本实用新型另一实施例提供的一种漏液检测装置的伸缩驱动机构的结构示意图。

图6所示为本实用新型另一实施例提供的一种漏液检测装置的结构示意图。

具体实施方式