[实用新型]一种芯片剥膜机有效
| 申请号: | 201720572999.6 | 申请日: | 2017-05-22 |
| 公开(公告)号: | CN207068801U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
| 发明(设计)人: | 谢崇平;王小波;谢磊;刘磊;章维鹏 | 申请(专利权)人: | 无锡芯坤电子科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 芯片 剥膜机 | ||
技术领域
本实用新型属于芯片加工装置技术领域,具体涉及一种芯片剥膜机。
背景技术
芯片切割保护膜,晶圆研磨定位保护膜之一:UV膜,又名UV失胶胶带、UV减粘胶带,UV胶带是一种在特殊薄膜上涂上常态上显示高劲粘接力在芯片,但是经过紫外线照射后粘接力急剧下降。在现有的芯片加工过程中,需要对底膜上的芯片颗粒进行分离,现有的分离设备需要人工手动压住底膜,剥膜效率低,由于底膜通过粘合剂与芯片进行粘合,而现有的剥离设备不能有效的结合紫外光线对粘合剂照射来降低粘性,导致剥离效率底。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种芯片剥膜机,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种芯片剥膜机,包括活动架和紫外光发生器,所述活动架的底部滑动连接于滑套,所述滑套通过支杆固定在机架内,所述活动架上转动连接有丝杆,所述丝杆的一端连接于电机,所述丝杆上安装有滑块,所述滑块通过固定杆固定连接于夹板,所述活动架的一端通过第一弹簧连接于机架的一端,所述活动架的另一端上方固定连接有刮板,所述活动架的底部固定连接有顶板,所述活动架上还安装有放料辊,所述机架上固定连接有导柱,所述导柱上安装有紫外光发生器,所述机架内安装有主动辊,所述机架内还安装有导料槽,所述机架上安装有控制开关。
优选的,所述活动架上还固定连接有与丝杆平行的滑竿,所述滑竿滑动连接于固定杆。
优选的,所述活动架上还放置有托板。
优选的,所述机架内安装有凸轮,所述凸轮与顶板相抵,所述凸轮的转轴固定连接于摇杆。
优选的,所述活动架上安装有从动辊,所述从动辊与主动辊间隙相对设置,所述主动辊连接于另一个电机的输出端。
优选的,所述控制开关分别电性连接于紫外光发生器电机,所述紫外光发生器内安装有紫外光灯,所述紫外光发生器的底部边缘由外侧至内测分别固定连接有一圈密封条和压边,所述紫外光发生器的两端设置有侧板,所述侧板滑动连接于导柱,所述导柱上套接有第二弹簧。
优选的,所述夹板包括上夹板和下夹板组成,下夹板与固定杆顶部固定连接,上夹板通过锁紧螺母固定在下夹板上,所述夹板内夹持固定有收集膜。
本实用新型的技术效果和优点:该芯片剥膜机,通过紫外光发生器发出紫外光线对底膜进行照射,有效的降低底膜的粘性,有利于提高芯片剥离的效率,提高芯片的分离质量,剥离下来的芯片随着收集膜一同移动,保持原有芯片的排列顺序。
附图说明
图1为本实用新型的俯视结构示意图;
图2为本实用新型的侧视结构示意图;
图3为本实用新型的图2中A处放大结构示意图;
图4为本实用新型的紫外光发生器结构示意图。
图中:1第一弹簧、2夹板、3活动架、4摇杆、5控制开关、6机架、7导料槽、8紫外光发生器、801密封条、802压边、803紫外光灯管、804侧板、9刮板、10丝杆、11电机、12滑竿、13顶板、14凸轮、15滑套、16主动辊、17从动辊、18滑块、19固定杆、20托板、21锁紧螺母、22收集膜、23导柱、24第二弹簧、25放料辊。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-4所示的一种芯片剥膜机,包括活动架3和紫外光发生器8,所述活动架3的底部滑动连接于滑套15,所述滑套15通过支杆26固定在机架6内,所述活动架3上转动连接有丝杆10,所述丝杆10的一端连接于电机11,所述丝杆10上安装有滑块18,所述滑块18通过固定杆19固定连接于夹板2,所述活动架3的一端通过第一弹簧1连接于机架6的一端,所述活动架3的另一端上方固定连接有刮板9,所述活动架3的底部固定连接有顶板13,所述活动架3上还安装有放料辊25,所述机架6上固定连接有导柱23,所述导柱23上安装有紫外光发生器8,所述机架6内安装有主动辊16,所述机架6内还安装有导料槽7,所述机架6上安装有控制开关5。
进一步的,所述活动架3上还固定连接有与丝杆10平行的滑竿12,所述滑竿12滑动连接于固定杆19,有利于保持固定杆19沿着丝杆10移动的稳定性。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





