[实用新型]石墨舟冷却房

说明书

技术领域

本实用新型涉及领域光伏电池制造领域，尤其涉及一种石墨舟冷却房。

背景技术

石墨舟是在等离子增强型化学气相沉积(PECVD)管式炉内对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜镀层的承载工具。在镀膜工艺结束后，石墨舟温度过高，需要对石墨舟进行冷却处理。

目前，现有技术主要是使用石墨舟小推车承载石墨舟，将石墨舟推入石墨舟冷却房内对石墨舟进行冷却。但是普通的石墨舟冷却房，冷风出风口较少，石墨舟冷却散热不均匀，散热时间较长且石墨舟各部分温度偏差较大。而石墨舟小推车推入冷却房后，小车无有效固定，且冷却时间无固定，可随意推出，可能存在冷却时间过短，冷却不充分的情况。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术中之不足，本实用新型提供一种冷风出风均匀，散热较快，且可有效感应并限时固定冷却小车，对冷却小车承载的石墨舟进行充分冷却的石墨舟冷却房。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种石墨舟冷却房，用于固定冷却小车并对冷却小车上承载的石墨舟进行散热冷却，所述冷却小车底部两侧分别具有滚轮，底部前段则固定有端板，所述冷却房包括与地面固定的且一面敞开的冷却房房体和设置在房体内的冷却平台，所述的冷却平台上分布有长条状格珊出风口，出风口下分布有至少三台冷却风机；冷却平台下方具有与地面固定的小车定位板，小车定位板两侧分别具有与滚轮配合的导轨；所述的小车定位板对应冷却房敞开面固定有旋转气缸，旋转气缸活塞杆端部固定有将端板限位的限位装置；所述小车定位板上还固定有设置在旋转气缸侧方的接触式感应器，所述接触式感应器和旋转气缸分别与控制器连接。

进一步的，为了更加方便对冷却小车进行限位，防止冷却过程中小车发生位移，限位装置包括与旋转气缸活塞杆端部固定的横挡板，所述横挡板两端分别固定有限位螺钉，所述限位螺钉上螺纹连接有调节螺母。调节螺母可根据冷却小车端板的厚度进行适当调节，便于将冷却小车的端板压紧在小车定位板表面。

为了便于冷却小车滚轮限位，冷却房内壁两侧分别具有与冷却小车滚轮配合的侧轨。侧柜可与导轨配合，进一步为冷却小车滚轮提供导向和限位。

进一步的，冷却平台表面还可设有与控制器线路连接的声光装置，声光装置可直观显示出控制器是否感应到接触式感应器是否接触到冷却小车，在冷却小车在冷却房内冷却至充足时间后，可提供声光提示，便于操作人员推出冷却好的石墨舟。

本实用新型的有益效果是，本实用新型提供的石墨舟冷却房，设计合理，将出风口设计为长条格珊状，可有效均匀冷风送风面积并均匀出风，缩短时间，提高散热效率，并对冷却小车进行有效接触感应并锁紧，待冷却小车在冷却房内充分散热后解锁并提供声光提示，使石墨舟冷却充分，冷却效率高，且具备直观的声光提示，简化冷却工序。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型最优实施例的结构示意图。

图2是图1的俯视图。

图3是最优实施例中限位装置、旋转气缸和端板的结构示意图。

图中1、房体 2、冷却平台 3、出风口 4、冷却风机 5、小车定位板 6、导轨 7、旋转气缸 8、接触式感应器 9、端板 10、横挡板 11、限位螺钉12、调节螺母 13、侧轨 14、声光装置。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1至图3所示的石墨舟冷却房，是本实用新型最优实施例，用于固定冷却小车并对冷却小车上承载的石墨舟进行散热冷却，所述冷却小车底部两侧分别具有滚轮，底部前段则固定有端板9，所述冷却房包括与地面固定的且一面敞开的冷却房房体1和设置在房体1内的冷却平台2，所述的冷却平台2上分布有长条状格珊出风口3，出风口3下分布有三台冷却风机4。出风口3设计为长条格珊状，可有效均匀冷风送风面积并均匀出风，缩短时间，提高散热效率。

冷却平台2下方具有与地面固定的小车定位板5，小车定位板5两侧分别具有与滚轮配合的导轨6；为了便于冷却小车滚轮限位，冷却房内壁两侧分别具有与冷却小车滚轮配合的侧轨13。侧柜可与导轨6配合，进一步为冷却小车滚轮提供导向和限位。