[实用新型]一种恒温显影机

说明书

技术领域

本实用新型涉及紫外光刻胶显影技术与设备领域，尤其涉及一种恒温显影机。

背景技术

紫外胶光刻胶作为一种抗刻蚀剂，因其工艺过程简单、容易控制，多年来一直在半导体领域被广泛应用。采用半导体工艺加工晶片的常规工艺流程为：晶片清洁、晶片涂胶、烘烤、曝光、显影。

采用以上现有技术的不足之处在于：常规情况下，显影液没有控温装置，而是将显影液罐直接置于周围环境中，这种方法往往由于外界环境温度的变化引起显影液温度的变化，显影液温度的变化而导致显影效果的差异。如外界气温较高时，显影液中有效成分的活性增强，外界温度降低时，显影液中有效成分的活性减弱，这种显影液活性强弱的变化，直接导致显影效果的差异，最终导致显影工艺不稳定。

实用新型内容

本实用新型提出一种恒温显影机，该恒温显影机可以排除外界环境温度对显影液温度的影响，使显影工艺更稳定。

本实用新型的技术方案如下：

一种恒温显影机，包括温控装置、显影装置、调压装置、显影液储液罐和清洗液储液罐；所述显影液储液罐的底部设置有加热盘，显影液储液罐内部设置有制冷管，加热盘与温控装置电连接，制冷管与一制冷压缩机连接，制冷压缩机与温控装置电连接，显影液储液罐内设置有温度传感器，温控装置中设置有变频器，温度传感器和制冷压缩机皆与变频器电信号连接；所述调压装置中设有两个微型气泵，两个微型气泵分别通过两根调压管道分别与显影液储液罐和清洗液储液罐连通；显影装置包括外壳、水平设置于外壳上端的防溅罩以及设置于防溅罩内部上方的两个喷嘴，外壳内设置有旋转电机，旋转电机的转轴穿过外壳上端与一真空吸盘固定连接，真空吸盘位于防溅罩内；显影液储液罐和清洗液储液罐分别通过两根连接管道与两个喷嘴连通。

其中，所述显影液储液罐和清洗液储液罐内均设置有压力传感器，调压装置分别与两个压力传感器电信号连接。

其中，所述显影液储液罐罐体设有真空隔热层。

其中，所述防溅罩内侧设置有导管层，导管层由许多细小导管组成，细小导管的一端朝向防溅罩轴心设置，另一端与一位于外壳内部的环状导管连通，环状导管连接外壳内部一水泵的进水口，水泵的出水口连接显影装置外一废水池。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型恒温显影机可以使显影液保持恒定的温度，排除外界环境温度对显影液温度的影响，使显影工艺更稳定，而且温度变频可调，使温度更加稳定；

2、本实用新型恒温显影机其旋转电机的转速可调，显影液喷洒更均匀，显影效果更好；

3、本实用新型恒温显影机喷嘴喷出的显影液的压力可调，使显影液喷洒更精确，节省了显影液的消耗，避免了不必要的浪费，同时显影效果也更好；

4、本实用新型恒温显影机增设了新型的带有导管层的防溅罩，能把具有腐蚀性的显影液及时排出，不会对防溅罩造成损害，增加了显影装置的使用寿命。

5、本实用新型恒温显影机结构优良，设计巧妙，实用性强，显影效率高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型显影装置结构示意图。

图中附图标记表示为：

1-温控装置，2-调压装置，3-显影装置，4-微型气泵，5-制冷压缩机，6-显影液储液罐，7-清洗液储液罐，8-调压管道，9-加热盘，10-制冷管，11-连接管道，31-外壳，32-防溅罩，33-喷嘴，34-真空吸盘，35-旋转电机，36-水泵，37-导管层，38-环状导管。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例来对本实用新型进行详细的说明。