[实用新型]一种箱子以及取放装置

权利要求书

1.一种箱子，用于存储掩膜版框架，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体的顶部设有开口，内部形成用于容置掩膜版框架的中空腔室，所述壳体的底板上平行设有至少两个沟槽，所述沟槽的延伸方向与所述掩膜版框架的延伸方向相垂直；

顶盖，所述顶盖可沿所述掩膜版的延伸方向滑动地安装在所述开口。

2.根据权利要求1所述的箱子，其特征在于，所述壳体包括前板、后板、底板以及与所述前板、底板和后板相连接的两个侧板，所述两个侧板上相对设置有滑槽，所述顶盖可沿所述前板和后板的排列方向滑动地安装在所述滑槽内。

3.根据权利要求2所述的箱子，其特征在于，所述前板和后板相对的表面上设有用于固定掩膜版框架的凹槽结构，和/或，所述顶盖和底板相对的表面上设有用于固定掩膜版框架的凹槽结构。

4.根据权利要求2所述的箱子，其特征在于，所述前板固定安装在所述底板上，所述后板与底板相连，且所述后板可绕平行于两个所述侧板的排列方向的转轴可转动地安装在所述底板上。

5.根据权利要求4所述的箱子，其特征在于，还包括设置在所述壳体外侧的外框，所述转轴安装在所述外框上。

6.一种取放装置，用于从权利要求1-5任一项所述的箱子中取放掩膜版框架并将所述掩膜版框架在水平状态和竖直状态之间切换，其特征在于，包括机架、吊取组件、夹持组件、切换组件、用于驱动所述吊取组件、夹持组件以及切换组件的驱动模块，所述吊取组件具有吊取工位和切换工位，其中：

所述吊取组件、夹持组件以及切换组件安装于所述机架，当所述吊取组件移动至吊取工位、且所述吊取组件深入所述沟槽时，所述吊取组件向着掩膜版框架移动且对所述掩膜版框架进行吊取，且所述夹持组件夹紧所述掩膜版框架，所述吊取组件与所述夹持组件配合以将所述掩膜版框架从所述壳体内取出；当所述吊取组件移动至切换工位时，所述吊取组件与所述切换组件正对，且所述吊取组件与所述夹持组件向着所述切换组件移动、以将所述掩膜版框架放置到所述切换组件上，所述驱动模块驱动切换组件在水平状态和竖直状态之间切换。

7.根据权利要求6所述的取放装置，其特征在于，所述吊取组件包括两个沿垂直与所述顶盖的方向平行设置的吊臂，所述吊臂包括与所述机架相连的悬臂以及外伸出所述悬臂远端、用于容置所述掩膜版框架的卡槽，所述卡槽的宽度不大于所述沟槽的宽度。

8.根据权利要求6所述的取放装置，其特征在于，所述夹持组件包括两个沿所述掩膜版框架的延伸方向相对设置的夹持件，两个所述夹持件相对的表面上设有定位槽。

9.根据权利要求6所述的取放装置，其特征在于，所述切换组件包括支撑板以及可移动地安装在所述支撑板上的两个夹板。

10.根据权利要求6所述的取放装置，其特征在于，所述驱动模块为伺服电机。