[实用新型]一种真空压力控制和测量装置

权利要求书

1.一种真空压力控制和测量装置，其特征是：该装置包括反应腔室(1)，所述反应腔室与真空泵组增压泵(3)连通，所述真空泵组增压泵前端与真空泵组前级泵连通(2)；所述反应腔室分别与大量程真空计(4)和小量程真空计(5)连接；所述反应腔室与小量程真空计之间设置有阀门(6)。

2.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置，其特征是：所述反应腔室的腔容积为50L～1000L，材质为铝合金或不锈钢。

3.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置，其特征是：所述真空泵组前级泵为干式螺杆泵、罗茨泵、分子泵或水环泵，抽速为50～3000m³/h。

4.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置，其特征是：所述真空泵组增压泵为罗茨泵、螺杆泵、分子泵或水环泵，抽速为50～3000m³/h。

5.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置，其特征是：所述大量程真空计为皮拉尼真空计、薄膜电容真空计、冷阴极真空计或热阴极真空计，量程为0～1000Torr。

6.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置，其特征是：所述小量程真空计为皮拉尼真空计、薄膜电容真空计、冷阴极真空计或热阴极真空计，量程为0～1Torr。

7.根据权利要求1所述的一种真空压力控制和测量装置，其特征是：所述阀门为球阀、角阀、蝶阀或插板阀。