[实用新型]微流量控制装置

说明书

本实用新型提供了一种微流量控制装置，包括流体管道、流体驱动机构；多个流体驱动机构在流体管道内部，且沿流体管道延伸方向依次分布；所述流体驱动机构包括电导通件、变形件；所述变形件包括磁致、电致或者热致变形部件；能够直接或者间接地驱动流体管道中的流体流动。本实用新型在流体管道管径不变的情况下，就可以高度集成流体驱动机构，实现流量的步进式的驱动，并且可以灵活地切换沿流体管道不同的两个方向驱动。本实用新型可以采用磁力驱动方式，也提供了采用磁之外的电的控制方式，从而尤其适用于存在磁干扰或者不能生成磁干扰的场合中使用。

技术领域

本实用新型涉及检测传感器技术与致动器领域，具体地，涉及一种微流量控制装置。尤其是是一种能够作为微流量泵以及阀门的微流量控制装置。

背景技术

磁电效应是指外加磁场可以改变介质的电极化性质的现象。将磁电效应应用于自传感驱动领域具有很大的潜力。现有的专利文献，例如自传感驱动装置，公开号为CN102122900A，授权日为2013年01月09日，实用新型名称为《自传感驱动装置》的中国专利申请，提供了一种精密检测技术领域的自传感驱动装置,包括：套筒、输出杆、导向机构、推力压电传感体和伸缩驱动装置,导向机构活动设置于套筒内,推力压电传感体和伸缩驱动装置固定连接,输出杆的中部与导向机构固定连接且末端与推力压电传感体或伸缩驱动装置相连接。该专利文献具有可以同时感知驱动器所产生的驱动位移和驱动负载的能力,通过对驱动位移或驱动负载的感知信号的反馈应用可以实现驱动器在闭环控制下的精密驱动。但是这些专利文献申请提出的自传感驱动装置，是基于压电效应传感的，本实用新型创新的应用基于磁力驱动的磁电效应设计具有流体传感的驱动阀门。

此外，目前的微流量控制装置多在管道外部设置相应的驱动机构，集成度低导致体积较大，难以与微流量控制装置的应用场合相适应。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种微流量控制装置及其控制和阀门检测方法。

根据本实用新型提供的一种微流量控制装置，包括流体管道、流体驱动机构；

多个流体驱动机构在流体管道内部，且沿流体管道延伸方向依次分布；

所述流体驱动机构包括电导通件、变形件；

所述变形件包括磁致变形部件、电致变形部件以及热致变形部件中的任一种或任多种部件；

所述电导通件包括电磁线圈和/或导线；

磁致变形部件位于电磁线圈形成的磁场中；

磁致变形部件在电磁线圈所形成磁场的影响下发生的形变，能够直接或者间接地驱动流体管道中的流体流动；

电致变形部件在导线所通入电信号的影响下发生的形变，能够直接或者间接地驱动流体管道中的流体流动。

优选地，所述流体驱动机构还包括：磁偏置结构、敏感部件；

所述磁致变形部件包括导磁结构；

导磁结构位于磁偏置结构的偏置磁场中；

导磁结构具有磁场回路间隙；

电磁线圈缠绕在导磁结构上；

敏感部件安装在导磁结构上；

所述磁场回路间隙与所述流体管道的流体管道壁共同构成流体管道开口；

所述磁偏置结构提供偏置磁场；

所述导磁结构形成磁场回路；

所述电磁线圈提供交流磁场激励；

所述敏感部件采集导磁结构在交流磁场、偏置磁场以及待检测变量共同作用下产生的磁驱动力所引发的磁电转化信号。