[实用新型]基于F‑P结构的光纤微悬桥磁场传感探头有效
申请号: | 201720523245.1 | 申请日: | 2017-05-05 |
公开(公告)号: | CN206975198U | 公开(公告)日: | 2018-02-06 |
发明(设计)人: | 施阳阳;刘月明;韩晓红 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学 |
主分类号: | G01R33/032 | 分类号: | G01R33/032 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 结构 纤微 磁场 传感 探头 | ||
1.一种基于F-P结构的光纤微悬桥磁场传感探头,包括:光纤,对称固支端,基于中间反射体的光纤微悬桥,铬金属膜,超磁致伸缩薄膜,其特征是具有中间反射体的光纤微悬桥位于光纤端面,光纤微悬桥长度为95μm-105μm,中间反射体长为35μm-45μm,宽为35μm-45μm,微悬桥厚度为3μm-5μm,固支端长度为10μm-15μm,宽度与光纤微悬桥的宽度相同,为20μm-30μm,光纤微悬桥与光纤端面通过两对称固支端连接,并且构成法布里-珀罗谐振腔,形成光纤一体化结构。
2.根据权利要求1所述的一种基于F-P结构的光纤微悬桥磁场传感探头,其特征是铬金属膜和超磁致伸缩薄膜依次镀在光纤微悬桥的外表面,铬金属膜厚度为30nm-50nm,超磁致伸缩薄膜材料为TbDyFe材料,厚度为1μm-1.5μm。
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