[实用新型]一种电气可控的高效多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种电气可控的高效多晶硅还原炉，所述还原炉包括底盘和炉体，炉体连接在底盘上且在炉体与底盘之间限定出反应器内腔，其特征在于，所述反应器内腔中设有多个电极，所述电极布置在所述底盘上的电极孔中，所述底盘上设有多个进气口和至少一个出气口，以所述多晶硅还原炉底盘中心为中心向外依次设有第1层～第n层同心圆，其中n≥4，每层同心圆上均匀分布有3*n对电极孔，最外层的同心圆上结合出气口设置至少3*(n-1)对电极孔，每对电极孔硅芯实现搭接，同一层同心圆上的电极分为三组并与三相交流电源连接，所述三相交流电源至少有两组。

2.根据权利要求1所述的电气可控的高效多晶硅还原炉，其特征在于，所述底盘下设有双层进气系统和排气系统，所述进气口设有进气喷嘴，所述双层进气系统包含双层进气环管和与双层进气环管相连的多个进气管，所述进气管分别与进气喷嘴一一对应连接，所述排气系统包括出气盘管和与出气盘管相连的至少一个出气管，所述出气管分别与出气口一一对应连接。

3.根据权利要求2所述的电气可控的高效多晶硅还原炉，其特征在于，所述进气喷嘴均匀分布在距相邻两层同心圆之间距离相等的一同心圆上。

4.根据权利要求1所述的电气可控的高效多晶硅还原炉，其特征在于，相邻两层同心圆之间的间距与同心圆上电极孔之间的间距相等。

5.根据权利要求1所述的电气可控的高效多晶硅还原炉，其特征在于，所述底盘的中心设有出气口。

6.根据权利要求1所述的电气可控的高效多晶硅还原炉，其特征在于，所述出气口为3～6个，均布在最外层同心圆上。

7.根据权利要求1所述的电气可控的高效多晶硅还原炉，其特征在于，所述炉体内设有高温水冷却腔，所述高温冷却腔连接有高温冷却水进口和高温冷却水出口，所述高温冷却水进口位于所述炉体的底部，所述高温冷却水出口位于所述炉体的顶部。

8.根据权利要求7所述的电气可控的高效多晶硅还原炉，其特征在于，所述高温水冷却腔内由下至上环绕形成螺旋状冷却流道。

9.根据权利要求1至8之一所述的电气可控的高效多晶硅还原炉，其特征在于，所述出气口连接有低温冷却尾气管。