[实用新型]一种自适应光学聚焦干涉补偿系统

权利要求书

1.一种自适应光学聚焦干涉补偿系统，其特征在于：包括激光器(1)、光束准直扩束模块、数字微镜器件(5)、相位补偿模块(6)、分束器(7)、缩束模块、扫描模块、二向色镜(10)、显微物镜(17)、实验样品(18)和光强探测模块；光束准直扩束模块布置在激光器(1)之后，激光器发射出光束经准直扩束模块平行扩束并空间滤波后入射到数字微镜器件(5)，数字微镜器件(5)旁侧出射端置有相位补偿模块(6)，数字微镜器件(5)正侧出射端置有分束器(7)和缩束模块，相位补偿模块(6)位于分束器(7)的旁侧处，数字微镜器件(5)的旁侧反射光束经相位补偿模块(6)后再反射到分束器(7)中，数字微镜器件(5)的正侧反射光束直接反射到分束器(7)中；缩束模块前方设有二向色镜(10)；光束经二向色镜(10)反射后经过扫描模块进入显微物镜(17)聚焦，实验样品(18)位于显微物镜(17)焦平面上；实验样品(18)内激发出的荧光经过显微物镜(17)与扫描模块后透过二向色镜(10)被光强探测模块接收。

2.根据权利要求1所述的一种自适应光学聚焦干涉补偿系统，其特征在于：所述的光束准直扩束模块包括前光束准直扩束模块透镜(2)、光束空间滤波器(3)和后光束准直扩束模块透镜(4)；前光束准直扩束模块透镜(2)、光束空间滤波器(3)和后光束准直扩束模块透镜(4)依次平行布置在激光器(1)出射端的前方，入射光束依次经前光束准直扩束模块透镜(2)、光束空间滤波器(3)和后光束准直扩束模块透镜(4)平行扩束后入射到数字微镜器件(5)。

3.根据权利要求1所述的一种自适应光学聚焦干涉补偿系统，其特征在于：所述的缩束模块包括前缩束模块透镜(8)和后缩束模块透镜(9)；前缩束模块透镜(8)和后缩束模块透镜(9)依次平行布置在分束器(7)的前侧，数字微镜器件(5)反射的光束依次经分束器(7)、前缩束模块透镜(8)和后缩束模块透镜(9)平行缩束后入射到二向色镜(10)的旁侧。

4.根据权利要求1所述的一种自适应光学聚焦干涉补偿系统，其特征在于：所述的扫描模块包括前扫描振镜(11)、前光束准直透镜(12)、后光束准直透镜(13)、后扫描振镜(14)、前扫描模块透镜(15)和后扫描模块透镜(16)；前扫描振镜(11)、前光束准直透镜(12)、后光束准直透镜(13)、后扫描振镜(14)、前扫描模块透镜(15)和后扫描模块透镜(16)依次布置在二向色镜(10)的前侧，二向色镜(10)反射的光束依次经前扫描振镜(11)、前光束准直透镜(12)、后光束准直透镜(13)、后扫描振镜(14)、前扫描模块透镜(15)和后扫描模块透镜(16)后入射到显微物镜(17)。

5.根据权利要求1所述的一种自适应光学聚焦干涉补偿系统，其特征在于：所述的光强探测模块包括光学滤波器(19)、聚焦透镜(20)、空间滤波器(21)和光电倍增管(22)；光学滤波器(19)、聚焦透镜(20)、空间滤波器(21)和光电倍增管(22)依次布置在二向色镜(10)的后侧，实验样品(18)发出的荧光依次经显微物镜(17)、后扫描模块透镜(16)、前扫描模块透镜(15)、后扫描振镜(14)、后光束准直透镜(13)、前光束准直透镜(12)、前扫描振镜(11)、二向色镜(10)、光学滤波器(19)、聚焦透镜(20)和空间滤波器(21)后进入光电倍增管(22)进行光强探测。

6.根据权利要求1所述的一种自适应光学聚焦干涉补偿系统，其特征在于：所述的相位补偿模块(6)包括但不限于光学延迟线、空间光调制器、相位延迟片。