[实用新型]一种晶圆载具

权利要求书

1.一种晶圆载具，其特征在于，包括直径大于或等于静电吸附盘直径的圆形托盘，圆形托盘上设置有具有缺口的圆环型凸起；圆环型凸起内部的圆形托盘上设有若干与圆形托盘同圆心的圆环型凹槽，圆环型凹槽上开设有若干通孔。

2.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于，所述圆环型凸起内部的所述圆形托盘上设有若干直线凹槽，且直线凹槽沿圆形托盘的圆心呈扇形分布。

3.根据权利要求2所述的晶圆载具，其特征在于，至少部分所述直线凹槽通达所述圆形托盘的圆心，该通达圆心的直线凹槽的相交处开设有通孔。

4.根据权利要求2所述的晶圆载具，其特征在于，至少部分所述直线凹槽与所述圆环型凹槽的交点处开设有通孔。

5.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于，所述最外圈的圆环型凹槽的半径R1小于晶圆的半径R2，且3mm＜R2-R1＜5mm。

6.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于，所述圆形托盘和圆环型凸起采用陶瓷或碳化硅材料制成。

7.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于，所述圆形托盘的厚度不超过2mm，圆环型凸起的厚度不超过1mm。

8.根据权利要求2或3所述的晶圆载具，其特征在于，所述圆环型凹槽和直线凹槽的宽度均小于1.5mm。

9.根据权利要求1所述的晶圆载具，其特征在于，所述缺口的长度为10mm。