[实用新型]一种内置固定结构的化学机械抛光垫包装盒

说明书

技术领域

本实用新型涉及抛光垫包装盒技术领域，具体涉及一种内置固定结构的化学机械抛光垫包装盒。

背景技术

化学机械抛光垫是半导体工业以硅晶片为起始原材料加工制造集成电路芯片的过程中使用的一种重要的消耗品。作为集成电路芯片这一高尖端精密产品制造过程中的一道重要的工艺，化学机械抛光工艺使用化学机械抛光垫和抛光液磨削去除在硅晶片表面沉积的多余的各种氧化物或金属等材料，因此对于化学机械抛光垫的各项物性、结构、抛光性能指标以及化学机械抛光垫的包装、运输、存储条件都有很高和严格的要求。

由于半导体工业对化学机械抛光垫的质量管理的严格要求，在现有的抛光垫包装盒结构中，每一片圆形的化学机械抛光垫都是先独自包装在一个密封的方形的塑料袋中，再以一定的数量堆叠起来，包装在一个包装盒里。多层塑料袋薄膜的厚度也影响到抛光垫和缓冲块之间的间隙、抛光垫被缓冲块夹持的程度。

集成电路芯片的集成度一直在快速提升，芯片的线宽一直在不断缩小，芯片的计算性能一直在飞速提高。芯片的线宽越窄、尺寸越小，对芯片制造过程的要求也越严格，对化学机械抛光垫的物性结构微小的变化也越敏感，对抛光垫的包装技术质量要求也越高。

现有化学机械抛光垫包装盒一般采用在盒子内部沿着抛光垫圆周外围放置缓冲材料的方式实现在运输过程中夹持固定抛光垫位置、防止振动、保护抛光垫的目的。在一般的纸盒结构中，起夹持固定作用的缓冲材料块与化学机械抛光垫之间的间隙的大小影响着其保护作用的发挥：当间隙较大时外围缓冲块对抛光垫移动的限制较弱，抛光垫可以以较大的位移在包装盒内振动，以致于损伤抛光垫的边缘；当间隙较小时，即使抛光垫在包装盒内有很小的位移，外围缓冲块自身就在向内挤压抛光垫的边缘，容易引起抛光垫边缘翘曲损伤。

实用新型内容

本实用新型提供了一种内置固定结构的化学机械抛光垫包装盒，实现对化学机械抛光垫边缘的充分保护，以消除抛光垫在运输和存储过程中可能受到的形变和损伤。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案概述如下：

一种内置固定结构的化学机械抛光垫包装盒，包括包装盒本体，还包括内置固定结构，所述内置固定结构包括包装盒本体内上下重叠设置的上固定底片和下固定底片，以及若干组相互盖合且分别固定于上固定底片、下固定底片上的缓冲块，所述缓冲块内侧设置成弧形凹面，所述弧形凹面与化学机械抛光垫的弧度大小相一致，上固定底片、下固定底片以及缓冲块之间形成的空腔用于放置化学机械抛光垫；化学机械抛光垫发生较大的水平位移时，缓冲块能起到阻止进一步水平位移兼具缓冲的作用，故而将化学机械抛光垫放置于上固定底片、下固定底片以及缓冲块之间形成的空腔，可有效实现对化学机械抛光垫边缘的充分保护。

作为优选的，所述内置固定结构的上方和下方分别贴有上缓冲垫片和下缓冲垫片，上缓冲垫片和下缓冲垫片在运输过程中，能减少内置固定结构的上下震荡弧度，从而减少化学机械抛光垫的上下位移量，达到对化学机械抛光垫的表面进行充分保护的目的。

作为优选的，所述包装盒本体为由盒盖、盒底以及四个侧面组成的方形盒体，所述上缓冲垫片和下缓冲垫片分别紧贴于盒盖和盒底，且上缓冲垫片和下缓冲垫片的形状、尺寸大小与盒盖、盒底相同，便于固定、定位上缓冲垫片和下缓冲垫片。

作为优选的，所述上固定底片和下固定底片尺寸大小相同，且固定底片和下固定底片形状、尺寸大小与盒盖、盒底相同，便于固定、定位上固定底片和下固定底片。

作为优选的，所述相互盖合的缓冲块设有四组，分别固定于上固定底片和下固定底片的四边上，能对化学机械抛光垫任意方向的水平位移起到保护作用，缓冲效果好。

作为优选的，所述缓冲块通过胶粘的方式分别固定于上固定底片和下固定底片上，结构简单，易于实现。

作为优选的，所述缓冲块的材质为发泡塑料或海绵材料，为软质材料，缓冲效果好。

作为优选的，所述缓冲块内侧的弧形凹面与化学机械抛光垫的边缘之间的间隙为0-5mm，留下一定的富余空隙，避免缓冲块本身使得化学机械抛光垫变形。

作为优选的，所述缓冲块内侧的弧形凹面与化学机械抛光垫的边缘之间的间隙为2-5mm，避免了依赖缓冲块与化学机械抛光垫边缘的直接且紧密的接触来限制抛光垫在包装盒内的移动、以及因此增加的抛光垫边缘受力变形的可能性，同时保证了在抛光垫包装盒受到的外力和冲击较小的时候，抛光垫在包装盒内具有一定的移动缓冲空间而不会或较少发生抛光垫边缘触碰到缓冲块，减少抛光垫边缘受力变形的可能性。

与现有技术相比，本实用新型所产生的有益效果：