[实用新型]一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组有效
申请号: | 201720494513.1 | 申请日: | 2017-05-05 |
公开(公告)号: | CN206735342U | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 靳立辉;张学强;王国瑞;崔振强;陈志达;姚长娟;渠丽岩;杨海亮;杨明;丁吉祥;张华帅;赵晓光;尹擎 | 申请(专利权)人: | 天津中环半导体股份有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90;B28D7/00;B28D5/00;C30B33/06;H01L31/18 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211 | 代理人: | 李纳 |
地址: | 300384 天津市滨海新区高新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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搜索关键词: | 一种 用于 粘接晶棒 全自动 机组 | ||
1.一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,其特征在于:包括料座上料机构(1)、拆分机械手(2)、治具回流线(3)、晶棒上料机构(4)、桁架机械手(5)、粘棒机(6)、预固化流水线(7)及数字固化库(8);
所述拆分机械手(2)位于所述料座上料机构(1)的上方,所述治具回流线(3)的两端分别与所述拆分机械手(2)和所述晶棒上料机构(4)对接,所述治具回流线(3)上设有治具(31),所述桁架机械手(5)包括抓取机械手和滑动轨道,所述滑动轨道设于所述粘棒机(6)进料端的上方,且所述滑动轨道的一端位于所述晶棒上料机构(4)的上方;
所述预固化流水线(7)的进料端与所述粘棒机(6)出料端对应,所述预固化流水线(7)的出料端位于所述拆分机械手(2)的下方;
所述数字固化库(8)的进料端与所述拆分机械手(2)对接。
2.根据权利要求1所述的一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,其特征在于:所述粘棒机(6)的入料端和出料端、所述料座上料机构(1)、所述拆分机械手(2)及所述数字固化库(8)均装有读取料座上的RFID电子标签的RFID读写器。
3.根据权利要求1所述的一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,其特征在于:所述晶棒上料机构(4)包括晶棒升降机(41)、晶棒传送机构(42)、晶棒待料位(43)、晶棒测距机构(44)及与所述治具回流线(3)对接的工装待料位(46),还包括扫描设于晶棒上的识别标签的工业相机(45)。
4.根据权利要求1到3任一项所述的一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,其特征在于:所述抓取机械手包括可沿所述滑动轨道滑动的晶棒上料桁架机械手(51)和工装上料桁架机械手(52);所述晶棒上料桁架机械手(51)通过吸盘搬运晶棒,所述工装上料桁架机械手(52)通过夹爪抓取装 有料座的治具。
5.根据权利要求4所述的一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,其特征在于:所述滑动轨道有两个,所述晶棒上料桁架机械手(51)和所述工装上料桁架机械手(52)分别设于两个滑动轨道上;所述晶棒待料位(43)及所述工装待料位(46)分别与所述晶棒上料桁架机械手(51)及所述工装上料桁架机械手(52)对应。
6.根据权利要求5所述的一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,其特征在于:所述粘棒机(6)的进料端设有两个传送带入料口,分别为晶棒入料口(61)和工装入料口(62),所述晶棒入料口(61)和所述工装入料口(62)分别与所述晶棒上料桁架机械手(51)和所述工装上料桁架机械手(52)对应;所述粘棒机(6)的出料端设有出料传送线(63)。
7.根据权利要求6所述的一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,其特征在于:所述预固化流水线(7)有三层且与所述桁架机械手(5)的滑动轨道平行设置,所述预固化流水线(7)的两端安装有物料升降机构;最上层的流水线上设有刮胶工位(71),最下层流水线位于所述拆分机械手(2)下方的一端为出料口;所述预固化流水线(7)上的刮胶工位(71)与所述粘棒机(6)之间设有将所述出料传送线(63)上粘接后的晶棒转运到所述刮胶工位(71)的对接升降机(9)。
8.根据权利要求7所述的一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,其特征在于:所述物料升降机构包括位于所述预固化流水线(7)出料端的成品升降机(72)和位于远离所述出料端的转移升降机(73);所述成品升降机(72)包括物料升降转移平台(721)、物料水平过渡平台(722)及成品升降平台(723);所述转移升降机(73)包括将中间层流水线上的物料转运到最下层流水线上的转移平台。
9.根据权利要求1至3及5至8中任一项所述的一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,其特征在于:所述数字固化库(8)包括晶棒固化库(81)、设于所述晶棒固化库(81)进料端上料堆垛机(82)及设于所述固化库(81)出料端的下料堆垛机(83);所述固化库(81)内的存放货架,采用行列式标号,每个存放位(84)均采用条形码定位;所述上料堆垛机(82)及所述下料堆垛机(83)均安装有条形码阅读仪。
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