[实用新型]用于防止印刷电路板及晶圆对接时因热膨胀产生扭曲的结构有效
申请号: | 201720485539.X | 申请日: | 2017-05-03 |
公开(公告)号: | CN206806292U | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 叶秀慧 | 申请(专利权)人: | 叶秀慧 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/304;H01L23/488;H05K1/02;H05K3/00 |
代理公司: | 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙)11301 | 代理人: | 郑玉洁 |
地址: | 中国台湾台北市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 防止 印刷 电路板 对接 热膨胀 产生 扭曲 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及晶圆封装工艺,尤其是一种用于防止印刷电路板及晶圆对接时因热膨胀产生扭曲的结构。
背景技术
在晶圆封装的制程中,必须将晶圆10’与PCB 40’(印刷电路板)整合(如图14所示),在进行烘烤,烘烤后再行切割。但是由于材料的关系,PCB 40’的膨胀系数远大于晶圆10’的膨胀系数,因此在进行烘烤的过程,PCB 40’往外扩张的幅度远大于将于晶圆10’往外扩张的幅度。结果将产生如图15所示的结果,整体产生弧形的扭曲,在上侧的PCB 40’将会包覆在下方的晶圆10’。这种结构将会导致整个PCB 40’及晶圆10’上面电路组件扭曲失真,并且在进行下一级的切割过程时,也会造成极大的困难,因为要在弧形的表面上对位及切割,技术上相当困难。并且因为每一个晶圆与PCB的整合结构所产生的膨胀程度也不尽相同,所以将会导致整体良率下降。
本发明人基于在此一行业多年的经验,已构思一种解决的方式,其可以避免上述在工艺中所产生的问题。
故本实用新型希望提出一种崭新的用于防止印刷电路板及晶圆对接时因热膨胀产生扭曲的结构,以解决上述现有技术上的缺陷。
实用新型内容
所以,本实用新型的目的在于解决上述现有技术上的问题,本实用新型中提出一种用于防止印刷电路板及晶圆对接时因热膨胀产生扭曲的结构,在印刷电路板与晶圆对接的工艺中,对晶圆及印刷电路板切割沟槽,因此在后续进行烘烤的过程中,两者的膨胀区域均可为沟槽所吸收。所以可以维持住该印刷电路板与晶圆的整体结合结构的原有型态,而不会产生扭曲,因此也不会影响到印刷电路板及晶圆上的电路组件的功能。并且因为该印刷电路板及晶圆在加热时可以通过沟槽维持住原有的型态,所以在进行下一级的切割过程时相当容易,而有利于整体良率的提升。
为达到上述目的,本实用新型中提出一种用于防止印刷电路板及晶圆对接时因热膨胀产生扭曲的结构,包括:一晶圆,该晶圆下方黏置于一第一胶黏片上;一印刷电路板贴附于该晶圆上方,位于不同于该第一胶黏片的一侧,使得该晶圆、该印刷电路板及该第一胶黏片形成一整合结构;一治具框,用于承载该印刷电路板、该晶圆及该第一胶黏片所形成的整合结构;其中该治具框的中央形成一中央开孔,而该第一胶黏片延伸到该中央开孔上表面的外围,而使得整体结构很紧密的贴附在该治具框的上方;其中该晶圆形成多个芯片,其中各芯片之间形成沟槽;但是这些芯片仍然黏贴在该第一胶黏片上,所以整体上仍维持该晶圆的整体形状;或者该印刷电路板上形成多个沟槽。
其中,还包括:一顶具,用于从该中央开孔的下方对着该第一胶黏片的中心往上顶;其中该顶具接触该第一胶黏片处的面积大于该晶圆底部的面积,所以当该顶具往上顶时,将会使得整个第一胶黏片及该晶圆及印刷电路板也跟着往上;因为该第一胶黏片的周围被黏附在该治具框的上表面,应用该第一胶黏片的撑持力将使得贴附在其上的该晶圆及印刷电路板也会被撑开;
一切刀,用于在该第一胶黏片上沿着该晶圆的外围切开,而使得该第一胶黏片位于该晶圆连同该印刷电路板下方的部分与该胶黏片的其余部分分开;
其中因为该第一胶黏片的撑持力将使得贴附在其上的该晶圆及印刷电路板被撑开时,原本在该晶圆或印刷电路板上所切割的沟槽将会被拉伸扩张;因为该印刷电路板或该晶圆之间经过切割,所以会存在膨胀余裕;当加热时,该印刷电路板或该晶圆的膨胀区域均能够为该膨胀余裕所吸收。
其中,该印刷电路板上的沟槽作为将该印刷电路板顺着所对应的芯片切割时,顺着该印刷电路板上的沟槽做为切割线即能够将该印刷电路板切出而得到多个芯片组。
其中,该晶圆异于该印刷电路板的表面上贴附有多个导接片,该导接片的位置对应到该晶圆在后续程序中切割之后的各个芯片的上方;各导接片为一薄片状的板状材料;
其中后续将封装该芯片的结构并不会覆盖该导接片而使得该导接片的上表面外露。
其中,该第一胶黏片为蓝膜(blue tape)。
附图说明
图1显示本实用新型的晶圆及第一胶黏片的结合示意图。
图2显示本实用新型的整合结构与治具框的分解示意图。
图3的示意图显示本实用新型的整合结构置于治具框上,其中顶具位在整合结构的下方。
图4显示本实用新型的晶圆侧视示意图。
图5显示本实用新型的晶圆与第一胶黏片的结合侧视示意图。
图6显示本实用新型的晶圆经切割后的侧视示意图。
图7显示本实用新型的印刷电路板贴附于晶圆上方的侧视示意图。
图8显示本实用新型在印刷电路板上切割沟槽的侧视示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造