[实用新型]溢流显影液回收利用系统有效
申请号: | 201720484571.6 | 申请日: | 2017-05-04 |
公开(公告)号: | CN206684478U | 公开(公告)日: | 2017-11-28 |
发明(设计)人: | 刘刚 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所31280 | 代理人: | 乐卫国 |
地址: | 201506 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 溢流 显影液 回收 利用 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及显影液供给结构,具体来说涉及一种溢流显影液回收利用系统。
背景技术
在薄膜晶体管液晶显示器显影制程中,经由实验证明显影液内的碳酸根浓度会直接影响到显影能力的改变,为了精确控制显影能力,必须也对碳酸根浓度进行控制,当碳酸根浓度超出可控制规格时会添加新显影液以稀释,但此举会造成桶槽内的显影液溢流。
以往显影液排放或加入显影液稀释时溢流之显影液皆是排放至厂务而无回收,而当进行显影液耗用量统计时,此溢流之显影液也会算入耗用量之计算造成数据误差。
实用新型内容
针对上述问题,本实用新型提供一种溢流显影液回收利用系统,将溢流的显影液进行回收,并通过添加新显影液使显影液浓度降低至生产规格内,之后再送回显影槽再利用,解决现有技术中的问题。
为了实现上述目的,本实用新型的技术方案如下:
溢流显影液回收利用系统,包括显影槽、输送泵和输送管路,显影槽内的显影液通过输送泵、输送管路被输送至机台,其特征在于,包括一回收桶槽,显影槽的上部通过溢流管与回收桶槽连接,所述回收桶槽内设置有用以侦测液位高度的液位传感器,所述液位传感器与用以向回收桶槽加入新显影液的新显影液供给装置电连接,通过液位传感器控制新显影液供给装置向回收桶槽加入新显影液;所述回收桶槽的输出口与显影槽连接。
优选的,所述显影槽的底部通过带有三通阀的排放管路与回收桶槽连接。进一步,所述三通阀的另一出口为排放口。
优选的,所述液位传感器为浮筒式液位传感器。
优选的,所述液位传感器为浮球式液位传感器。
优选的,所述回收桶槽的输出口通过所述新显影液供给装置与显影槽连接。
优选的,所述回收桶槽的输出口与通过输送装置与显影槽连接。
本实用新型通过将溢流或手动排放掉的浓度超过规格显影液排入另一回收桶槽内,通过利用液位传感器控制通入新显影液,使得新显影液与回收的显影液进行混合至合适浓度,再供应至显影槽再利用。既节省了资源,又实现了显影液浓度自动调节。
本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
附图说明
图1为本实用新型的示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例进一步阐述本实用新型。
参见图1,溢流显影液系统,包括显影槽10、输送泵20和输送管路30,显影槽内的显影液11通过输送泵20、输送管路30被输送至机台40。这些为常规设计,在此不再详述。
溢流显影液回收利用系统,包括一回收桶槽50,显影槽的上部通过溢流管60与回收桶槽50连接,回收桶槽50内设置有用以侦测液位高度的液位传感器70,液位传感器70与用以向回收桶槽加入新显影液的新显影液供给装置80电连接,通过液位传感器70控制新显影液供给装置80经过管路81向回收桶槽加入新显影液;液位传感器可以选用浮筒式液位传感器或者浮球式液位传感器。回收桶槽50的输出口通过管路82进入新显影液供给装置80,再由新显影液供给装置80输送至显影槽10。
运行时,显影槽内溢流的显影液经过溢流管60进入回收桶槽50,随着显影液逐渐增多,达到预设值时,液位传感器70感应到信号,控制新显影液供给装置80向回收桶槽50注入新显影液,新显影液与原显影液混合后,经过管路82进入新显影液供给装置80,再由新显影液供给装置80输送至显影槽10。
在显影槽的底部通过带有三通阀的排放管路与回收桶槽连接。其作用是,将手动溢流的显影液收集到回收桶槽50内。三通阀的另一出口为排放口。
另外,需要指出的是,回收桶槽的输出口也可以通过其他独立的输送装置与显影槽连接。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海和辉光电有限公司,未经上海和辉光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720484571.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。