[实用新型]一种采用气体冷却的刻蚀样品台

权利要求书

1.一种采用气体冷却的刻蚀样品台，其特征在于：包括一升降底台，在所述升降底台的顶部设置有浅槽；所述升降底台周围布置有立柱，在所述立柱上固定有卡盘，所述卡盘位于所述升降底台的正上方；所述卡盘底部设置有环形胶垫，所述升降底台顶部环绕所述浅槽设置有环形密封垫；样品置于所述升降底台的顶部，盖住所述浅槽，且随所述升降底台一同上升的过程中被压设在所述环形密封垫与环形胶垫之间，使所述浅槽形成一密封空腔；所述空腔中充有冷却的惰性气体。

2.根据权利要求1所述的刻蚀样品台，其特征在于：所述立柱有3-4根，均布于所述升降底台的四周，所述卡盘由卡爪和压环构成，其中所述卡爪等数量地设置于各所述立柱上，压环固定于各所述卡爪的底部，所述压环的底部设置所述环形胶垫。

3.根据权利要求2所述的刻蚀样品台，其特征在于：所述卡爪通过上、下两个螺母限定在所述立柱上，在其中上方的螺母底部设置有小胶圈。

4.根据权利要求1所述的刻蚀样品台，其特征在于：所述刻蚀样品台置于一样品台真空室中，所述样品由预真空室送入到样品台真空室中。

5.根据权利要求1-4之一所述的刻蚀样品台，其特征在于：所述升降底台由电机驱动升降。

6.根据权利要求2或3所述的刻蚀样品台，其特征在于：所述压环焊接在所述卡爪底部。

7.根据权利要求2或3所述的刻蚀样品台，其特征在于：所述压环通过螺栓固定在所述卡爪底部。