[实用新型]检查夹具及具备该检查夹具的检查装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，尤其涉及用于对电路基板等检查对象进行电检查的检查夹具及具备该检查夹具的检查装置。

背景技术

以往，在对电路基板等检查对象进行短路、断路等电检查时，在检查装置中常常使用具备探针的检查夹具。

作为上述检查夹具，有时使用图4所示的检查夹具10X，该检查夹具10X用于对电路基板等检查对象100X进行检查，且包括：夹具头部11X，该夹具头部11X设置有沿上下方向贯穿该夹具头部11X的贯通孔THX；电极安装部12X，该电极安装部12X以能装卸的方式设置在所述夹具头部11X的与所述检查对象100X相反的一侧，且设置有电极13X；以及探针14X，该探针14X贯穿所述贯通孔THX，并且，所述探针14X的一端(图4中的上端)能与检查对象100X接触，所述探针14X的另一端(图4中的下端)与所述电极13X电连接。

在使用上述检查夹具进行检查时，需要将检查对象载放于夹具头部11X(的载放面)，从而使检查对象100X的检查部位与从夹具头部11X(的载放面)露出的探针14X的一端接触。

不过，实际中，检查对象的检查部位有时会偏离设计上的理想位置。例如，在检查对象是通过堆积而制造的基板的情况下，由于在将各层层叠时各层通过高温压接而固接在一起，构成基板的基材有时会发生收缩，因此基板的检查部位容易偏离设计上的理想位置。特别是在检查对象为柔性基板的情况下，由于基板的原材料使用的是较薄的富有弹性的材料，因此基板在制造过程中伸长的倾向显著，基板的检查部位更容易偏离设计上的理想位置。一旦出现检查对象的检查部位偏离设计上的理想位置的情况，在检查时，检查夹具的探针就不易接触到检查对象的检查部位，导致无法顺利地进行检查等问题。在对包括多个呈矩阵状排列的单位基板的面积较大的集合基板(例如参照专利文献1)进行检查时，上述问题尤为突出。

专利文献1：日本专利特开平8-21867号公报

为了解决上述问题，可考虑使夹具头部相对于电极安装部移动，以抵消基板的检查部位相对于设计上的理想位置的偏差量。不过，在这种情况下，在夹具头部中，探针的靠电极安装部一侧的端部可能会受到电极安装部等的碰撞而移动。一旦探针的靠电极安装部一侧的端部移动，探针的从夹具头部的检查对象一侧突出的量就容易减小或增大。在探针的从夹具头部的检查对象一侧突出的量减小时，探针可能无法良好地接触检查对象而无法顺利地进行检查。另一方面，在探针的从夹具头部的检查对象一侧突出的量增大时，探针可能会刺伤检查对象，导致使用检查对象的产品的品质变差。

实用新型内容

本实用新型是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，即使因检查对象的伸缩等导致检查对象的检查部位偏离正常位置而需要使夹具头部相对于电极安装部移动，也能确保探针的从夹具头部的检查对象一侧突出的量恒定。

为实现上述目的，本实用新型的第一方面提供一种检查夹具，其安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，包括：夹具头部；以及以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，其中，所述夹具头部包括：沿上下方向贯穿所述夹具头部的贯通孔；以及贯穿所述贯通孔、前端从所述夹具头部突出而能够与所述检查对象接触、后端从所述夹具头部突出而与所述电极接触的一根或多根探针，其中，所述夹具头部设置有第一止挡部，所述夹具头部的比所述第一止挡部靠所述电极安装部一侧的位置设置有第二止挡部，所述探针具有：从所述电极安装部一侧与所述第一止挡部抵接的第一抵接部；从所述检查对象一侧与所述第二止挡部抵接的第二抵接部；以及位于所述第一抵接部与所述第二抵接部之间的中间部，该中间部具有处于在上下方向上被压缩的状态的弹性部分。

此处，“沿上下方向贯穿所述夹具头部的贯通孔”并不意味着贯通孔必须严格沿上下方向延伸，贯通孔也可相对于上下方向倾斜。