[实用新型]太阳能电池链式湿法切边设备自动化水膜装置

说明书

本实用新型涉及硅片生产领域，具体是一种湿法切边设备自动化水膜装置。太阳能电池链式湿法切边设备自动化水膜装置，包括水箱、安装在水箱里的浮子液位计、连接外界水源的带阀门的水管、喷淋管道、N个水泵、N个喷淋头、N个位置传感器、控制芯片。本实用新型的有益效果是：喷水量实现可控运行稳定，杜绝出现刻蚀量不够、半成品黑边等不合格产品问题。由原先一体式的水膜改为分轨单独式，避免局部故障影响整个设备停机。实现了储水罐液位自动控制，降低人力成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产领域，具体是一种湿法切边设备自动化水膜装置。

背景技术

现有太阳能电池链式湿法切边设备，设备的第一道工序是喷水，目前产线湿法切边设备所使用的水膜装置为手动装置，使用这种一体式水膜容易带来以下问题：

1、喷水量不可控运行不够稳定，经常出现刻蚀量不够、半成品黑边等不合格产品问题。

2、由于是一体式的水膜，当有一条轨出现问题，在处理问题时会影响到整个机台无法生产。

3、目前的水膜装置需要人工监测储水罐液位，且需要手动添加纯水，增加人力成本。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是：如何解决在喷水膜过程中出现的运行不稳定的问题。

本实用新型所采用的技术方案是：太阳能电池链式湿法切边设备自动化水膜装置，包括水箱、安装在水箱里的浮子液位计、连接外界水源的带阀门的水管、喷淋管道、N个水泵、N个喷淋头、N个位置传感器、控制芯片，阀门、水泵、位置传感器、浮子液位计电信号连接控制芯片，每个水泵对应连接一个喷淋头，每个喷淋头上对应安装一个位置传感器，多根喷淋管道的一端连接到水箱另一端连接到一根母管上，母管通过一一对应的水泵连接到喷淋头上。

本实用新型的有益效果是：喷水量实现可控运行稳定，杜绝出现刻蚀量不够、半成品黑边等不合格产品问题。由原先一体式的水膜改为分轨单独式，避免局部故障影响整个设备停机。实现了储水罐液位自动控制，降低人力成本。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

其中，1、控制芯片，2、位置传感器，3、水泵，4、喷淋头，5、水箱，6、连接外界水源的带阀门的水管，7、浮子液位计。

具体实施方式

如图1所示，为了保持喷淋的稳定，需要水箱的水位不能变化很大，为此在水箱里安装浮子液位计，当水箱里的水位达到下限时，控制芯片控制连接外界水源的带阀门的水管向水箱里补充水，当水位达到上限时，连接外界水源的带阀门的水管停止进水。多根喷淋管道连接水箱和母管，即使一根喷淋管出现问题，也不会影响正常使用，每个喷淋头都通过一个水泵连接到母管，因此每个喷淋头都是独立的，可以独自进行喷水而不影响其它喷淋头，每个喷淋头上又安装一个位置传感器，当位置传感器感觉到有硅片移动到喷淋头时，控制芯片控制与该喷淋头对应的水泵打开，从而该喷淋头开始对硅片喷水。