[实用新型]一种堆叠封装微型压力传感器有效

专利信息
申请号: 201720462553.8 申请日: 2017-04-28
公开(公告)号: CN206740307U 公开(公告)日: 2017-12-12
发明(设计)人: 田吉成;朱荣惠 申请(专利权)人: 无锡永阳电子科技有限公司
主分类号: G01L19/14 分类号: G01L19/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 堆叠 封装 微型 压力传感器
【权利要求书】:

1.一种堆叠封装微型压力传感器,包括压力芯片、信号调理芯片、陶瓷基板,其特征在于,还包括金丝、端子,所述信号调理芯片通过硅胶与所述陶瓷基板堆叠粘接,所述压力芯片通过硅胶与所述信号调理芯片堆叠粘接,所述金丝电连接所述压力芯片、信号调理芯片和陶瓷基板,所述端子焊接在所述陶瓷基板上。

2.根据权利要求1所述的一种堆叠封装微型压力传感器,其特征在于,在所述压力芯片、信号调理芯片和金丝的外部设置有塑封外壳,所述塑封外壳底部通过环氧胶与所述陶瓷基板粘接,所述压力芯片、信号调理芯片和金丝与所述塑封外壳之间使用氟硅胶灌封。

3.根据权利要求2所述的一种堆叠封装微型压力传感器,其特征在于,所述塑封外壳上设计有进气通道。

4.根据权利要求1或2所述的一种堆叠封装微型压力传感器,其特征在于,所述端子为插件式或贴片式。

5.根据权利要求1所述的一种堆叠封装微型压力传感器,其特征在于,所述陶瓷基板的尺寸为3x3x1mm,所述压力芯片的尺寸为0.65x0.65x0.4mm,所述信号调理芯片的尺寸为1.5x1.2x0.25mm。

6.根据权利要求1所述的一种堆叠封装微型压力传感器,其特征在于,所述陶瓷基板还可以是PCB。

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