[实用新型]一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台

权利要求书

1.一种用于测试非导电样品表面形貌的电镜平台，其特征在于，包括测试平台(1)和设置于所述测试平台(1)底部的底座(2)，所述测试平台(1)和所述底座(2)之间设置有弹性件(3)，所述测试平台(1)上倒扣设置有底部开口的筒形的蒙盖(4)，所述蒙盖(4)的侧壁与所述底座(2)可拆卸连接，所述测试平台(1)的顶面和所述蒙盖(4)的内部顶面中的一个设置有用于放置样品(100)的样品放置结构，所述蒙盖(4)的顶面开设有样品观察口(41)，所述样品观察口(41)对应并连通所述样品放置结构。

2.根据权利要求1所述的电镜平台，其特征在于，所述测试平台(1)、所述底座(2)及所述弹性件(3)均可导电。

3.根据权利要求2所述的电镜平台，其特征在于，所述蒙盖(4)可导电，所述蒙盖(4)的内侧的径向尺寸与所述底座(2)的外侧的径向尺寸相适应。

4.根据权利要求1所述的电镜平台，其特征在于，所述样品放置结构为设置于所述测试平台(1)的顶面且外形与样品(100)相适应的平台凹槽(11)，所述平台凹槽(11)的径向尺寸大于样品(100)的径向尺寸，所述平台凹槽(11)的深度小于样品(100)的厚度。

5.根据权利要求4所述的电镜平台，其特征在于，所述样品观察口(41)的径向尺寸小于样品(100)的径向尺寸，所述样品观察口(41)的中心与所述平台凹槽(11)的中心对齐。

6.根据权利要求1所述的电镜平台，其特征在于，所述样品放置结构为设置于所述蒙盖(4)的内部顶面且外形与样品(100)相适应的蒙盖凹槽，所述蒙盖凹槽的径向尺寸大于样品(100)的径向尺寸，所述蒙盖凹槽的深度小于样品(100)的厚度。

7.根据权利要求6所述的电镜平台，其特征在于，所述样品观察口(41)的径向尺寸小于样品(100)的径向尺寸，所述样品观察口(41)的中心与所述蒙盖凹槽的中心对齐。

8.根据权利要求1所述的电镜平台，其特征在于，所述样品放置结构为设置于所述测试平台(1)的顶面且外形与样品(100)相适应的平台凹槽(11)和设置于所述蒙盖(4)的内部顶面且外形与样品(100)相适应的蒙盖凹槽，所述平台凹槽(11)的径向尺寸、所述蒙盖凹槽的径向尺寸均大于样品(100)的径向尺寸，所述平台凹槽(11)的深度、所述蒙盖凹槽的深度均小于样品(100)的厚度的一半。

9.根据权利要求8所述的电镜平台，其特征在于，所述样品观察口(41)的径向尺寸小于样品(100)的径向尺寸，所述样品观察口(41)的中心与所述平台凹槽(11)的中心、所述蒙盖凹槽的中心对齐。

10.根据权利要求1-9任一项所述的电镜平台，其特征在于，所述蒙盖(4)的侧部开设有蒙盖连接孔(42)，所述底座(2)的侧部开设有底座连接孔(21)，卡槽栓(5)依次穿过所述蒙盖连接孔(42)、所述底座连接孔(21)中，以实现所述蒙盖(4)与所述底座(2)的连接。