[实用新型]玻璃基板清洗系统有效
| 申请号： | 201720456594.6 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN206701896U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 王树利;穆美强;苏记华;杜跃武;张云晓;任晓金;刘晓波 | 申请（专利权）人： | 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人： | 陈庆超,桑传标 |
| 地址： | 450016 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 清洗 系统 | ||
1.一种玻璃基板清洗系统，包括依次连通的供给装置、混合装置(3)和清洗装置(4)，所述供给装置包括分别与所述混合装置(3)连通的第一供给装置(11)，用于向所述清洗系统提供第一清洗剂，和第二供给装置(12)，用于向所述清洗系统提供第二清洗剂，其特征在于，所述第一清洗剂为纯水，所述第一供给装置(11)和所述混合装置(3)之间设置有第一过滤器(21)，所述第二清洗剂为压缩空气，所述第二供给装置(12)与所述混合装置(3)之间设置有第二过滤器(22)，所述第二过滤器(22)和所述混合装置(3)之间设置有允许所述压缩空气流向所述混合装置(3)的单向阀。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板清洗系统，其特征在于，所述单向阀为具有弹簧的单向阀。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板清洗系统，其特征在于，所述系统还包括用于检测供应至所述混合装置(3)的所述压缩空气的压力的检测装置(6)，和与该检测装置(6)电连接的控制器(7)，所述第一供给装置(11)与所述控制器(7)电连接。
4.根据权利要求3所述的玻璃基板清洗系统，其特征在于，所述检测装置(6)为设置在所述单向阀和所述混合装置(3)之间的压力变送器。
5.根据权利要求3所述的玻璃基板清洗系统，其特征在于，所述单向阀为电磁阀，该电磁阀与所述控制器(7)电连接。
6.根据权利要求3所述的玻璃基板清洗系统，其特征在于，所述控制器(7)为内置有压力阈值的PLC控制器。
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