[实用新型]装片机装片机构有效

专利信息
申请号: 201720447342.7 申请日: 2017-04-25
公开(公告)号: CN206711871U 公开(公告)日: 2017-12-05
发明(设计)人: 王安云 申请(专利权)人: 无锡明祥电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/68
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 装片机装片 机构
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及装片机,特别涉及装片机装片机构。

背景技术

在集成电路装片机中,装片部件是其核心部件。装片过程涉及芯片的剥离、拾取、转移、对准和放置。目前,公开号为CN201717251U的中国专利公开了一种集成电路装片机四自由度装片模块,它包括真空泵、吸嘴和顶针,采用吸嘴和顶针,将晶圆盘上的芯片转移到引线框架上,实现芯片与引线框架的待贴片位置的对准和绑定;对准是通过数控装置保证X、Y、Z、θ四个自由度上的对准。从而保证了较高的装片精度和装片效率。

上述装片机在使用时,吸嘴吸附芯片放于引线框架上进行焊接,吸嘴长时间在高温环境下对芯片一直进行取放容易磨损,对芯片的取放会产生影响,但是上述装片模块中,操作人员无法对吸嘴的使用时间进行精确地计算,从而无法把控吸嘴的磨损状况。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种装片机装片机构,其具有精确把控吸嘴使用寿命,便于及时更换吸嘴的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种装片机装片机构,包括水平工作台和芯片放取机构,芯片放取机构包括真空泵、吸嘴和运动架,所述运动架上固定有金属管,金属管一端与真空泵相连,另一端与吸嘴相连,所述工作台靠近运动架的侧面固定有固定台,所述固定台上固定有十字滑台,所述十字滑台与运动架相连,运动架朝向固定台的侧面上固定有感光器,所述固定台上设有正对感光器的激光发射器,所述固定台上固定有计数警报器,所述感光器与计数警报器电连接。

通过采用上述技术方案,先对计数警报器进行设定,设定一个上限值,表示吸嘴的额定工作次数,装片机工作时,十字滑台驱动运动架移动,运动架下降,运动架上的感光器接收到激光发射器发出的激光,传递信号给技术警报器,计数警报器的实时数加一,表示吸嘴已工作的次数,当实时数小于上限数时,装片机继续工作,当实时数等于上限数时,计数警报器开始报警,提醒操作人员更换吸嘴;吸嘴跟随运动架下降,靠近芯片时,真空泵开启,吸嘴吸附芯片,运动架上升,运动架水平移动到待焊引线框架的上方,运动架下降,芯片放置于焊液上,吸嘴在运动架的带动下离开引线框架,完成焊接;激光发射器所发出的激光不易发散,方向性好,感光器接收信号更准确;计数警报器可精确计算吸嘴的使用次数,对吸嘴的使用次数进行严格把控,避免操作人员通过人力记忆等方式对吸嘴的使用时间进行把控的不精确。

本实用新型进一步设置为:工作台下方设有芯源转盘,工作台在芯源转盘的上方开有槽口,槽口内壁上设有风扇。

通过采用上述技术方案,将带有芯片的晶圆盘放置于芯源转盘内,装片机工作时,运动架带动吸嘴移动,吸嘴穿过槽口吸附晶圆盘上的芯片,在运动架的带动下将芯片焊在待焊引线框架上,由于在焊接芯片时温度较高,吸嘴通过芯片的传递使自身温度升高,吸嘴一直处于高温时容易发生氧化,对吸嘴造成腐蚀,且高温时,吸嘴容易发生软化,序芯片接触时容易磨损,降低吸嘴使用寿命,在槽口内设置的风扇可对吸嘴进行降温,当吸嘴带着高温从待焊引线框架上向下移动经过槽口时,槽口内的风扇对吸嘴进行降温,防止吸嘴温度过高。

本实用新型进一步设置为:所述工作台上开设有安装孔,安装孔内固定有轴承,轴承内圈固定有旋转轴,旋转轴远离工作台的一端连接芯源转盘,所述芯源转盘的上表面固定有磁性固定块,所述工作台的侧壁上开设有容纳固定块的固定槽。

通过采用上述技术方案,芯源转盘转动连接于工作台下方,工作前,将芯源转盘转出,将晶圆盘放置于芯源转盘内,再将芯源转盘转入,固定块嵌于固定槽内,磁性固定块吸附在固定槽内,对芯源转盘进行固定。

本实用新型进一步设置为:装片机构还包括磨损警报器,所述真空泵与吸嘴之间设有压力传感器,所述压力传感器与磨损警报器电连接。

通过采用上述技术方案,当吸嘴上发生较小磨损时,吸嘴虽然可以吸附芯片,但是由于发生磨损,吸附并不牢固影响芯片的焊接;在真空泵与吸嘴之间设有的压力传感器可有效控制吸嘴与真空泵之间的压力,当吸嘴发生磨损时,吸嘴与真空泵之间压力产生变化,压力传感器传递信号给磨损警报器,磨损警报器报警提醒操作人员更换吸嘴。

本实用新型进一步设置为:金属管与吸嘴螺纹连接,连接处设有密封箍,密封箍内设有密封垫。

通过采用上述技术方案,金属管与吸嘴通过螺纹连接,方便安装与拆除,金属管与吸嘴连接处用密封箍箍紧,密封垫将连接处封堵,对吸嘴与金属管的连接起到密封作用。

本实用新型进一步设置为:所述吸嘴的下端设为锥形,所述吸嘴的下端面处封堵有挡片,所述挡片的中间开设有过气孔。

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