[实用新型]一种芯片清洁装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及芯片生产设备领域，特别涉及一种芯片清洁装置。

背景技术

芯片一般是指集成电路的载体，也是集成电路经过设计、制造、封装、测试后的结果，通常是一个可以立即使用的独立的整体。而由于在生产过程中，芯片表面会有部分的金属碎片以及其他污渍，因此在芯片生产完成的最后工序需要对芯片进行清洁。

目前，公告号为CN203155613U的中国专利公开了一种半导体LED芯片生产吸嘴自动清洁装置，它包括支架，所述支架上部设有调节喷洗装置，下部设有承液容器，，清洁平台可移动设置在调节喷洗装置与承液容器之间，所述调节喷洗装置包括用于存放清洗液的桶状容器，该桶状容器底部安装有与其相同的空心状压力调节针，顶部设有控制清洗液排出量的调节流量阀。

这种半导体LED芯片生产吸嘴自动清洁装置虽然整体结构较为简单，同时通过承载容器可以收集过量的清洗液，但是这种清洁装置在清洁过程中芯片容易偏离位置，从而导致清洁不到位等情况的出现。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种芯片清洁装置，其具有可以有效清洁芯片，使得芯片在固定的传送通道上，不容易出现偏移等情况的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种芯片清洁装置，包括带有进口及出口的水洗箱，所述水洗箱内设有传输装置，所述传输装置上方设有用于清洗芯片表面的清洁装置，所述传输装置包括固定于水洗箱进口处内壁的电机、与电机出口固定连接的转动辊、位于转动辊远离电机出口一端用于将转动辊固定于水洗箱内壁上的第一轴承、位于水洗箱出口处的传动辊、位于传动辊两端用于将传动辊固定在水洗箱内壁上的第二轴承、套设于转动辊和传动辊上的传动皮带及两端分别固定于水洗箱进口和出口处的限位挡板。

通过采用上述技术方案，设有的水洗箱主要针对芯片在生产过程中在表面沾染的金属碎片、油渍及污渍等去除，但是往往在整个通过过程中，芯片出现偏移等情况，从而导致清洗不干净，因此通过设有的传输通道将芯片稳固的放置在相应的位置上，芯片主要通过传动皮带在水洗箱内通过，而在传动皮带的两侧设有限位挡板，有效的将芯片的位置限制在限位挡板之间的传动皮带上，减少出现芯片的偏移、脱落等情况，同时由于清洗装置的作用，减少出现清洗装置清洗过程中将芯片冲到其他位置，从而相应的稳定芯片的位置。

进一步设置：所述限位挡板上还设有若干通孔。

通过采用上述技术方案，通孔主要用于排出清洁装置喷出的清洁液，减少出现清洁液在传动皮带上的存储，尽可能的通过通孔将清洁装置喷出的清洁液排出。

进一步设置：所述水洗箱内还设有清洁装置，所述清洁装置包括位于传输装置下方的蓄水池、位于蓄水池一侧的抽水泵、位于传输装在两侧的支架、位于皮带上方且两端分别固定于支架上的固定管、一端与抽水泵连通另一端与固定管连通的输水管及与固定管连通朝向传动皮带的喷嘴。

通过采用上述技术方案，清洁装置主要是通过从蓄水池内抽取清洁液，从而将清洁液通入到支架上的固定管内，再从固定管底面位于传动皮带上方的喷嘴喷出，朝向芯片表面喷洒清洁液，有效的对芯片表面进行清洁。

进一步设置：所述蓄水池顶端还设有带有圆孔的过滤板。

通过采用上述技术方案，由于芯片表面带有各种金属的碎片，为了减少碎片掉落到蓄水池中，从而在蓄水池上方设有圆孔状的过滤板，有效的将大颗粒的碎片阻挡在外部，从而也可以减少出现芯片掉落到蓄水池的可能。

进一步设置：所述蓄水池与抽水泵的连接处设有过滤网。

通过采用上述技术方案，由于过滤板只能过滤大颗粒的杂质，为了减少出现小颗粒的杂质在进入蓄水池后通过抽水泵又重新回到芯片表面，因此在抽水泵与蓄水池连通处设有过滤网，从而进一步过滤蓄水池中可能出现的小颗粒杂质。

进一步设置：所述水洗箱出口还设有缓冲装置，所述缓冲装置包括位于水洗箱出口一侧的固定台、固定于固定台上的支撑杆、套设于支撑杆上的缓冲辊及位于支撑杆上用于限位缓冲辊的转动轴承。

通过采用上述技术方案，在芯片清洗完毕后需要从水洗箱出口排出，为了减缓芯片排出的速度设置缓冲装置，从而有效的减缓芯片的排出速度，减少出现芯片掉落、摔坏等情况。