[实用新型]流量显示装置及流量控制系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及流量控制技术领域，具体地，涉及一种流量显示装置及流量控制系统。

背景技术

质量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)主要用于对气体或液体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生活中有着重要作用。

通常，质量流量控制器与流量显示装置配套使用，以实现对流体的控制。流量显示装置可以为质量流量控制器提供供电电源、设定、阀控等信号，并且可以将气体质量流量控制器返回的流量信号进行显示。目前与气体质量流量控制器配套使用的流量显示装置大多是模拟式或数字单通道的，这些产品存在显示不够精确、不利于远程操作或控制通道少、成本较高等问题。

目前的流量显示装置控制质量流量控制器，存在显示精度较差，自动处理能力较差及不利于远程操作的缺陷。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种流量显示装置及流量控制系统，其可以实现数字通讯控制，从而能够克服现有技术的上述缺陷。

为实现本实用新型的目的而提供一种流量显示装置，其包括操作与显示模块、主板、模拟接口和电源模块，其中，

所述操作与显示模块用于显示以及接收人工输入的设定信息；

所述主板包括通讯模块和控制模块，其中，所述通讯模块用于实现所述控制模块和上位机之间的信息交互；

所述控制模块用于在所述上位机的控制下，接收来自质量流量控制器的流量信息，并将其发送至所述操作与显示模块进行显示；接收来自所述操作与显示模块的所述设定信息，并基于所述流量信息和所述设定信息向所述质量流量控制器发送控制指令；

所述模拟接口分别与所述主板和所述质量流量控制器连接；

所述电源模块用于向所述操作与显示模块和所述主板提供供电电源。

优选的，所述通讯模块包括无线传输单元和/或有线传输单元。

优选的，所述有线传输单元所采用的通信接口包括网络接口、IEE1394接口和USB接口中的至少一种有线通信接口。

优选的，所述无线传输单元所采用的通信方式包括蓝牙、2.4G无线通信、红外线、无线网路通信、全球微波互联接入和无载波通信中的至少一种无线通信方式。

优选的，所述控制模块包括模数转换电路、数模转换电路、微处理器和控制电路，其中，

所述模数转换电路用于对来自所述质量流量控制器的第一模拟信号转换为第一数字信号，并发送至所述微处理器；

所述数模转换电路用于对来自所述微处理器的第二数字信号转换为第二模拟信号，并发送至所述质量流量控制器；

所述微处理器用于对所述第一数字信号进行处理，以获得显示信息发送至所述操作与显示模块进行显示；接收来自所述操作与显示模块的所述设定信息，并将其转换为所述第二数字信号，发送至所述数模转换电路；以及基于所述流量信息和所述设定信息向所述控制电路发送第三数字信号；所述第三数字信号包含所述控制指令；

所述控制电路用于将所述第三数字信号转换为第三模拟信号，并发送至所述质量流量控制器。

优选的，所述流量信息包括流体的瞬时质量流量；所述设定信息包括目标质量流量；

所述微处理器根据所述流体的瞬时质量流量和所述目标质量流量进行差计算，并根据计算结果向所述控制电路发送所述第三数字信号，以使所述流体的实时质量流量和所述目标质量流量一致；所述第三数字信号包括有关控制所述质量流量控制器调节流体的质量流量的控制指令。

优选的，所述显示信息包括瞬时流量值、流量满量程和所述质量流量控制器的工作模式；

所述质量流量控制器的工作模式包括流量可调模式、流路关闭模式和流路清洗模式。

优选的，所述操作与显示模块包括显示器和输入设备，其中，

所述显示器用于显示；

所述输入设备用于接收人工输入的设定信息。

优选的，所述操作与显示模块、主板和模拟接口组成一独立模块组；

所述独立模块组的数量为多组，且每个所述独立模块组对应一所述质量流量控制器。

作为另一个技术方案，本实用新型还提供一种流量控制系统，包括质量流量控制器和与之连接的流量显示装置，所述流量显示装置采用本实用新型提供的上述流量显示装置。

本实用新型具有以下有益效果：