[实用新型]一种多环境下片上系统的压电测试装置

权利要求书

1.一种多环境下片上系统的压电测试装置，其特征是：气管Ⅰ（14）连通气管Ⅱ（15）与气管Ⅲ（16），所述的气管Ⅱ（15）与气管Ⅲ（16）之间设置阀门Ⅰ（3），所述的气管Ⅱ（15）与气管Ⅲ（16）插入容器瓶（2）内，所述的容器瓶（2）的底部设置电热炉RS（1），所述的气管Ⅰ（14）连通腔室（13）的一侧，所述的气管Ⅰ（14）靠近腔室（13）的位置设置阀门Ⅱ（4）；

所述的腔室（13）的另一侧连通气管Ⅳ（17），所述的气管Ⅳ（17）靠近腔室（13）的位置设置阀门Ⅲ（11），所述的气管Ⅳ（17）的外端连接机械泵（12）；

所述的腔室（13）的外表面设置显示屏（10），所述的腔室（13）的底端设置可调节的电热阻丝RT（5），所述的显示屏（10）的下方设置进仓门（9），所述的进仓门（9）内装入样品台（6），所述的样品台（6）上均布一组接线柱（7），所述的接线柱（7）之间设置夹具（8），所述的夹具（8）与接线柱（7）间隔设置。

2.根据权利要求1所述的一种多环境下片上系统的压电测试装置，其特征是：所述的腔室（13）内装入电路板，所述的电路板包括电源AC连接头，所述的电源AC的一端并联开关S1的一端、开关S2的一端、开关S3的一端、开关S4的一端、开关S5的一端与开关S6的一端；

所述的开关S1的一端连接电热阻丝RT（5）的一端，

所述的开关S2的一端连接温度传感器T的一端，

所述的开关S3的一端连接湿度传感器H的一端，

所述的开关S4的一端连接压力传感器P的一端，

所述的开关S5的一端连接电热炉RS（1）的一端，

所述的开关S6的一端连接机械泵（12）的一端，

所述的电源AC的另一端并联电热阻丝RT的另一端、温度传感器T的另一端、湿度传感器H的另一端、压力传感器P的另一端、电热炉RS（1）的另一端与机械泵的另一端。

3.利用权利要求1所述的一种多环境下片上系统的压电测试装置的测试方法，其特征是：包含以下步骤：

步骤一：打开仓门（9），将样品放置于样品台（6）上，并用夹具（8）夹住样品；

步骤二：样品通过导线与接线柱（7）的仓内部分连接后关闭仓门（9）；

步骤三：接线柱（7）的仓外部分与电测设备相接；

步骤四：关闭阀门Ⅱ（4），打开阀门Ⅲ（11），运转机械泵（12），抽离腔室（13）内的气体，使腔室（13）内达到真空级，关闭阀门Ⅲ（11），保持腔室（13）内气压为真空级；

步骤五：保持腔室（13）内气压为真空级的情况下，给电热阻丝RT（5）通电，调节腔室（13）内的温度；

步骤六：保持腔室（13）内气压为真空级的情况下，打开阀门Ⅱ（4），关闭阀门Ⅰ（3）给电热炉RS（1）通电，使容器瓶（2）内的液体沸腾，向腔室（13）充气，当容器瓶（2）内的液体为水时，气流可携带水蒸气进入腔室（13）内，通过控制阀门Ⅰ（3）的开关可控制进入腔室（13）内水蒸气的量，当到达需要的压力值与湿度值时关闭阀门Ⅱ（4）；

步骤七：打开阀门Ⅰ（3）与阀门Ⅱ（4），向腔室（13）内充入不同的气体，实现腔室（13）内不同气体作用下不同的气压环境，关闭阀门Ⅱ（4），实现腔室（13）内干燥环境下的保压；

步骤八：在进行不同气体腔室（13）内干燥环境下的保压的前提下，给电热阻丝RT（5）通电，调节腔室（13）内的温度；

步骤九：当腔室（13）内的压力值与湿度值达到规定时，调节电热阻丝RT（5）的阻值实现腔室（13）内温度的有序变化，并测量样品的各项数值；

步骤十：测量结束后打开阀门Ⅲ（11），运转机械泵（12），将腔室（13）内气体排出，使腔室（13）内的压强变为标准大气压，关闭电源AC。